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8,2。烷類(lèi)尾氣處理系統(tǒng)8.2。1。尾氣處理設(shè)備的處理效率和出口濃度應(yīng)符合下列規(guī)定，1，設(shè)備的處理效率不應(yīng)低于99.2，處理后的污染因子濃度宜在PC,TWA值以下，3.處理后的燃燒爆炸性氣體濃度應(yīng)在爆炸下限值的25。以下，8，2、2、采用電熱式和等離子式的尾氣處理設(shè)備、其內(nèi)部應(yīng)采用耐腐蝕.耐高溫的材料,8,2 3.尾氣處理系統(tǒng)宜采用下列方式 1，硅烷，SiH4，鍺烷,GeH4,宜采用熱氧化和洗滌兩級(jí)處理方式，2,磷烷，PH3，宜采用熱氧化和洗滌兩級(jí)處理方式或干式吸附方式、3 乙硼烷.B2H6。宜采用洗滌方式 4.砷烷，AsH3，宜采用干式吸附方式.8，2 4.從真空泵至尾氣處理設(shè)備入口之間的管道 應(yīng)符合下列規(guī)定。1,管道的材質(zhì)宜采用不銹鋼304或316、2，當(dāng)尾氣遇低溫易產(chǎn)生沉淀物質(zhì)時(shí)。管道應(yīng)采取加熱措施 8,2.5 尾氣處理設(shè)備出口之后的管道宜采用耐腐蝕,導(dǎo)靜電的材質(zhì).8、2 6、當(dāng)尾氣處理設(shè)備采用直接燃燒方式時(shí) 應(yīng)符合消防要求。