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4，工藝及工藝設(shè)備4，1。一般規(guī)定4，1。1，根據(jù)電子工業(yè)工藝加工性質(zhì),主要有酸性廢氣。堿性廢氣,揮發(fā)性有機物。VOCs、廢氣、含塵廢氣、特種廢氣,玻璃窯爐廢氣。表1是電子工業(yè)典型生產(chǎn)工序排出的廢氣類別、表2是典型生產(chǎn)工序排出廢氣的主要成分，4。1。2、企業(yè)要優(yōu)先采用清潔生產(chǎn)技術(shù)、工藝和設(shè)備、采用無毒。無害或者低毒、低害的原料。替代毒性大.危害嚴重的原料 優(yōu)先使用低氟材料、企業(yè)要根據(jù)生產(chǎn)工藝?；瘜W(xué)品使用清單、有毒有害物質(zhì)清單等進行分析論證 符合清潔生產(chǎn)指標要求 達到較高的清潔生產(chǎn)水平、同時，限制使用有害的化學(xué)品是全球的發(fā)展趨勢、企業(yè)需承擔社會責任、要符合。中國禁止或嚴格限制的有毒化學(xué)品名錄,等相關(guān)限制性規(guī)定.4.1，3 當生產(chǎn)過程中使用含砷烷、磷烷 乙硼烷.鉛蒸氣.汞蒸氣和氰化物等極毒。劇毒物質(zhì)時.一般是由生產(chǎn)廠家提供相關(guān)數(shù)據(jù),在環(huán)境評價階段完成物料平衡計算 控制排放量.4。1、4,半導(dǎo)體集成電路和平板顯示生產(chǎn)過程中.化學(xué)氣相淀積.干法刻蝕等工序使用的具有全球變暖潛能。GWP.的氟化合物,包括全氟化合物.四氟化碳，CF4，六氟乙烷,C2F6。八氟丙烷。C3F8 八氟環(huán)丁烷,c。C4F8，三氟化氮.NF3.六氟化硫。SF6.三氟甲烷.CHF3。和氫氟碳化物、HFCs,等。4,1、5，根據(jù)排放廢氣的種類和性質(zhì)。集中布置工藝設(shè)備.以便廢氣集中收集，4。1、6?？紤]當有毒有害氣體發(fā)生泄漏事故時.事故排風系統(tǒng)的有效性以及事故排風系統(tǒng)和相對應(yīng)的廢氣處理系統(tǒng)的規(guī)模 有毒有害氣體的泄漏速率要控制在一定的范圍內(nèi)。所以在有毒有害氣體的供應(yīng)源頭，即儲罐出口處需裝設(shè)流量限制閥、實際工程中有毒有害氣體儲罐出口裝設(shè)的最大流量為30L,min的限流閥 既能符合生產(chǎn)供應(yīng)要求。又能很好地控制發(fā)生事故時的有毒有害氣體泄漏速率