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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計標(biāo)準(zhǔn) GB 51401-2019
- 條文說明
- 1 總則
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設(shè)備
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機(jī)物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 8．1 一般規(guī)定
- 8．2 烷類尾氣處理系統(tǒng)
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)
- 8．4 其他特種尾氣處理系統(tǒng)
- 8．5 中央廢氣處理系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風(fēng)
- 12 電氣設(shè)計
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8.5，中央廢氣處理系統(tǒng)8.5，1,尾氣處理設(shè)備處理后還含有污染物.故需要進(jìn)入中央廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)一步處理 對于外延工序.由于含有氫氣，其尾氣處理設(shè)備處理后的氣體不要接入中央廢氣處理系統(tǒng)、8。5 3,為了避免有害物質(zhì)外泄制定了本條規(guī)定.8,5，4.本條規(guī)定了產(chǎn)生粉塵的尾氣處理設(shè)備的系統(tǒng)設(shè)置要求、2，為了避免粉塵堵塞管路系統(tǒng)制定了本款規(guī)定 3、采用淋洗方式。粉塵含有水分,會堵塞干式的過濾器、