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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計標準 GB 51401-2019
- 1 總則
- 2 術(shù)語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設(shè)備
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 8．1 一般規(guī)定
- 8．2 烷類尾氣處理系統(tǒng)
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)
- 8．4 其他特種尾氣處理系統(tǒng)
- 8．5 中央廢氣處理系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風
- 12 電氣設(shè)計
- 附錄A 電子工業(yè)常用高毒物品的立即危害生命和健康濃度(IDLH)
- 本標準用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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8.4,其他特種尾氣處理系統(tǒng)8,4,1、尾氣處理設(shè)備的處理效率和出口濃度應(yīng)符合下列規(guī)定.1、設(shè)備的處理效率不應(yīng)低于99,2.處理后的污染因子濃度宜在PC,TWA值以下.3。處理后的燃燒爆炸性氣體濃度應(yīng)在爆炸下限值的25 以下.8.4，2，外延設(shè)備的尾氣處理設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定、1,外延尾氣處理系統(tǒng)應(yīng)單獨設(shè)置，2.應(yīng)按防爆系統(tǒng)設(shè)置。3 不應(yīng)就近設(shè)置在外延爐旁邊和下技術(shù)夾層內(nèi)、4，尾氣處理設(shè)備應(yīng)設(shè)置防護罩 8，4,3 三氟化硼.BF3.和三氯化硼 BCl3 宜采用等離子和淋洗兩級處理方式,三氟化氯.ClF3.宜采用熱氧化和淋洗兩級處理方式，三氯硅烷。SiHCl3，二氯硅烷，SiH2Cl2.宜采用等離子式和淋洗兩級處理方式 8,4。4.從真空泵至尾氣處理設(shè)備入口之間的管道、應(yīng)符合下列規(guī)定。1、管道的材質(zhì)宜采用不銹鋼304或316，2.當尾氣中含有遇低溫易析出粉塵的物質(zhì)時 管道應(yīng)采取加熱措施。8、4、5，尾氣處理設(shè)備出口之后的管道應(yīng)采用防腐。導(dǎo)靜電的材質(zhì)。