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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn) GB 51401-2019
- 條文說(shuō)明
- 1 總則
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設(shè)備
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機(jī)物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 8．1 一般規(guī)定
- 8．2 烷類尾氣處理系統(tǒng)
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)
- 8．4 其他特種尾氣處理系統(tǒng)
- 8．5 中央廢氣處理系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風(fēng)
- 12 電氣設(shè)計(jì)
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8.特種廢氣系統(tǒng)8，1，一般規(guī)定8,1，1.本條規(guī)定了特種廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)置要求，1。特種廢氣的尾氣處理設(shè)備包括干法吸附式。熱氧化式、淋洗式.等離子式等.3 尾氣處理設(shè)備的入口，設(shè)備腔體內(nèi)。管路以及等離子頭等需要定期清理.短則2個(gè)月,3個(gè)月.長(zhǎng)則3個(gè)月,6個(gè)月，為了確保穩(wěn)定生產(chǎn)，特種尾氣設(shè)備一般考慮備用。8.1，2.本條規(guī)定了管道連接的要求。1,不同工藝設(shè)備及同一工藝設(shè)備的不同腔體使用相容氣體時(shí).一般采用圖4.圖7接法.工藝設(shè)備不同腔體使用不相容氣體時(shí) 要采用圖5接法.不要采用圖4、圖7接法。2,工藝設(shè)備的排出口與尾氣處理設(shè)備的進(jìn)入口 要一一對(duì)應(yīng)圖4,圖5接法，圖6合并使用的接法、在接頭處易造成堵塞,故一般不采用。8.1 3，為了減少系統(tǒng)的阻力以及避免冷凝液和顆粒物的積聚,要減少管路中的彎頭和變徑 當(dāng)處理氣體有含有自燃?xì)怏w.如硅烷,可燃?xì)怏w時(shí)，為了避免其余滲入的氧氣混合引起燃燒或爆炸,要減少管路上的接頭、8、1.5、在尾氣處理設(shè)備的出口設(shè)置取樣口以便于檢測(cè)、8。1、7,從安全角度考慮，制定了本條規(guī)定,8.1、8、采用淋洗式尾氣處理設(shè)備時(shí)、由于其排出的氣體中含有水蒸氣、故制定了本條規(guī)定