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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計標準 GB 51401-2019
- 1 總則
- 2 術(shù)語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設(shè)備
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 8．1 一般規(guī)定
- 8．2 烷類尾氣處理系統(tǒng)
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)
- 8．4 其他特種尾氣處理系統(tǒng)
- 8．5 中央廢氣處理系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風
- 12 電氣設(shè)計
- 附錄A 電子工業(yè)常用高毒物品的立即危害生命和健康濃度(IDLH)
- 本標準用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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8.特種廢氣系統(tǒng)8 1。一般規(guī)定8.1.1。特種廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)置應符合下列規(guī)定，1、應根據(jù)工藝設(shè)備生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的污染物性質(zhì)和濃度等因素、選擇尾氣處理設(shè)備.POU。的形式 2，特種廢氣宜在使用設(shè)備的附近進行處理,3、尾氣處理設(shè)備宜設(shè)置備用.8，1，2,工藝設(shè)備與尾氣處理設(shè)備之間的管道連接應符合下列規(guī)定,1，當工藝設(shè)備使用的氣體不相容時 工藝設(shè)備與尾氣處理設(shè)備應一一對應。2 工藝設(shè)備的排出口與尾氣處理設(shè)備的進入口應一一對應。不宜合并使用，8。1 3 尾氣處理設(shè)備與工藝真空泵之間的連接管應減少變徑.彎頭和接頭，8、1、4。工藝真空泵與尾氣處理設(shè)備之間以及尾氣處理設(shè)備之后的管道材料的特性應與所接觸的污染物的性質(zhì)相適應.8.1,5。尾氣處理設(shè)備進出口宜設(shè)置取樣口 8、1、6.安裝在室外的尾氣處理設(shè)備以及管道的材質(zhì)應采取防腐，防紫外線措施、8。1 7.特種廢氣的排風管道及附件應采用不燃材料制作，8、1。8,淋洗式尾氣處理設(shè)備后的管道應設(shè)置1.的坡度 坡向處理設(shè)備,