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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計標(biāo)準(zhǔn) GB 51401-2019
- 1 總則
- 2 術(shù)語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設(shè)備
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機(jī)物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 8．1 一般規(guī)定
- 8．2 烷類尾氣處理系統(tǒng)
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)
- 8．4 其他特種尾氣處理系統(tǒng)
- 8．5 中央廢氣處理系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風(fēng)
- 12 電氣設(shè)計
- 附錄A 電子工業(yè)常用高毒物品的立即危害生命和健康濃度(IDLH)
- 本標(biāo)準(zhǔn)用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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8 3，全氟化合物，PFC。尾氣處理系統(tǒng)8,3 1 對化學(xué)氣相沉積。CVD。干法刻蝕工藝生產(chǎn)工程中散發(fā)的全氟化合物。PFC,排入大氣前應(yīng)進(jìn)行處理，8，3，2、尾氣處理設(shè)備的效率應(yīng)符合下列規(guī)定,1.三氟化氮,NF3，不應(yīng)低于98,2 其他不應(yīng)低于95，8,3 3。全氟化合物 PFC。尾氣處理設(shè)備宜采用熱裂解和淋洗兩級處理方式 裂解方式應(yīng)根據(jù)處理效率 處理生成物,系統(tǒng)可靠性,處理能力.運行成本 使用壽命、消防要求因素等綜合比較確定 8 3。4、尾氣處理設(shè)備的內(nèi)腔和風(fēng)管應(yīng)采用耐腐蝕的材料.8，3，5、尾氣處理設(shè)備的排水應(yīng)進(jìn)入含氟廢水處理系統(tǒng)，