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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計標準 GB 51401-2019
- 條文說明
- 1 總則
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設(shè)備
- 4．1 一般規(guī)定
- 4．2 污染物控制
- 4．3 應急設(shè)施
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風
- 12 電氣設(shè)計
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4,3，應急設(shè)施4,3,1、工藝設(shè)備的安全保護系統(tǒng)通過配備緊急狀態(tài)偵測切斷裝置.控制有毒有害氣體的擴散，固定式安全保護系統(tǒng)指該系統(tǒng)就地設(shè)置在工藝設(shè)備上.不可移動、供其他設(shè)備使用.工藝設(shè)備包括工藝設(shè)備主體和附屬部件。如氣體儲氣柜 分配箱、封閉箱體.密閉反應腔室等、4.3 2,有毒有害物質(zhì)的化學品和特氣分配供應系統(tǒng)應該有泄漏和排風壓力下限報警連鎖和切斷特種氣體?；瘜W品供應的功能。當排風風壓降低至預先的設(shè)定值時.發(fā)出警報信號，并且將工藝設(shè)備置于安全待機狀態(tài).同時切斷特種氣體.化學品的供應 4。3。3,化學品和特殊氣體在意外泄漏情況下、首先要避免化學品和特殊氣體向環(huán)境擴散 以保證附近操作人員的人身安全。其次要切斷設(shè)備運行。以保證設(shè)備自身的安全性。最后考慮加工產(chǎn)品的產(chǎn)品質(zhì)量,工藝設(shè)備一般配置如下接口,以便接受報警信號，1。預留接口聯(lián)通至本地氣體泄漏偵測報警裝置,接受外部異常報警信號。2.預留接口聯(lián)通至本地廢氣處理裝置。接受該裝置的異常報警信號、3、預留接口聯(lián)通至本機廢氣排出裝置，如干泵，接受該裝置的異常報警信號.4、預留接口聯(lián)通至本機附屬的其他需排風的裝置 如工藝氣體柜.密閉主機臺外罩等，接受該部分的異常報警信號,5、在操作位置附近安裝緊急制動開關(guān).確保工藝設(shè)備的緊急切斷。6、在偵測到以上外部報警信號時、需啟動本機安全互鎖、切斷本機工藝氣體輸送.發(fā)出代表本機異常聲光報警信號。并向生產(chǎn)控制計算機系統(tǒng)發(fā)送指定的警報代碼.