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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn) GB 51401-2019
- 條文說(shuō)明
- 1 總則
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設(shè)備
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機(jī)物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 8．1 一般規(guī)定
- 8．2 烷類尾氣處理系統(tǒng)
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)
- 8．4 其他特種尾氣處理系統(tǒng)
- 8．5 中央廢氣處理系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風(fēng)
- 12 電氣設(shè)計(jì)
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8。2，烷類尾氣處理系統(tǒng)8 2。1.PC。TWA值見.工作場(chǎng)所有害因素職業(yè)接觸限值，第1部分?；瘜W(xué)有害因素.GBZ,2、1,8 2,3.本條規(guī)定了幾種尾氣的處理方式,1。因?yàn)楣柰橐着c空氣發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生二氧化硅.極易堵塞管道,故需要進(jìn)行就地洗滌.而采用離子式的方式易堵塞火炬頭、故不推薦.2，對(duì)于廢氣量大的設(shè)備宜采用.熱氧化。洗滌.的方式。如。CVD,量小的一般采用吸附式的方式、如離子注入機(jī)、特氣站均采用吸附式。3。由于乙硼烷直接用吸收液處理效率較高。故推薦此方式