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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn) GB 51401-2019
- 條文說(shuō)明
- 1 總則
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設(shè)備
- 4．1 一般規(guī)定
- 4．2 污染物控制
- 4．3 應(yīng)急設(shè)施
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機(jī)物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風(fēng)
- 12 電氣設(shè)計(jì)
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4.2。污染物控制4，2，1、生產(chǎn)工藝采用先進(jìn)的技術(shù)和裝備?？梢詼p少有毒有害物質(zhì)的產(chǎn)生量,例如.在半導(dǎo)體工藝中通過(guò)改進(jìn)生產(chǎn)工藝。降低光刻次數(shù)。降低化學(xué)品的消耗。從而降低揮發(fā)性有毒有害廢氣的排放量，在平板顯示器件制程的涂膠工序中。可以采用非甩膠的工藝設(shè)備代替甩膠工藝設(shè)備。降低光刻膠的使用量.從而降低揮發(fā)性有機(jī)物的排放量,4.2。2、根據(jù)走訪調(diào)研,一些高污染的典型電子工業(yè)下藝設(shè)備廢氣排放壓力設(shè)定見表3、表6、