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16.半導(dǎo)體材料廠車間電力設(shè)計(jì)16.0、1 本章適用于半導(dǎo)體硅,鍺和化合物材料生產(chǎn)廠的多晶，單晶及片加工生產(chǎn)車間電力設(shè)計(jì).16 0.2,三氯氫硅合成爐和多晶硅氫還原爐的高壓?jiǎn)?dòng)設(shè)備僅在啟動(dòng)時(shí)短時(shí)工作.可不參與負(fù)荷計(jì)算和無(wú)功功率補(bǔ)償計(jì)算.16，0、3、三氯氫硅合成爐工頻感應(yīng)線圈的計(jì)算、宜采用實(shí)驗(yàn)曲線法，計(jì)算方法見本規(guī)范附錄G.16、0、4、三氯氫硅合成。精餾提純 四氯化硅氫化.氫還原及尾氣回收裝置等控制系統(tǒng)的電力設(shè)計(jì)，應(yīng)與儀表專業(yè)統(tǒng)一考慮,使控制檢測(cè)裝置協(xié)調(diào)一致 電控及儀表監(jiān)測(cè)設(shè)備應(yīng)集中安裝在同一控制室內(nèi)，控制室應(yīng)正壓通風(fēng)，16,0.5，多晶硅氫還原爐的高壓?jiǎn)?dòng)設(shè)備或硅芯預(yù)熱裝置，常壓供電設(shè)備和切換開關(guān).可集中安裝在同一電氣室內(nèi),當(dāng)采用充油式供電設(shè)備時(shí)、其防火要求應(yīng)符合本規(guī)范第3，8節(jié)的有關(guān)規(guī)定。16、0、6、多晶硅氫還原爐電氣室 應(yīng)與多晶硅氫還原爐室相毗鄰、兩室之間嚴(yán)禁開設(shè)門窗及其他孔洞,電源線穿越墻和樓板的地方應(yīng)進(jìn)行嚴(yán)密封堵，與電氣室無(wú)關(guān)的管道嚴(yán)禁通過(guò)電氣室。必須通過(guò)時(shí)、應(yīng)采取隔離措施.16。0、7、多晶硅氫還原爐的控制室與電氣室之間。應(yīng)設(shè)置便于聯(lián)系的通道,16.0、8，多晶硅氫還原爐用硅芯生產(chǎn)時(shí).在控制室。電氣室和多晶硅氫還原爐室，均應(yīng)設(shè)置聲光信號(hào),電氣室應(yīng)裝設(shè)有電氣聯(lián)鎖的安全門.門上應(yīng)設(shè)標(biāo)志燈。高壓?jiǎn)?dòng)前應(yīng)有報(bào)警信號(hào)并自動(dòng)鎖門.高壓?jiǎn)?dòng)后自動(dòng)解除.16.0。9,當(dāng)單晶和多晶車間的主要用電設(shè)備為單相負(fù)荷時(shí) 供電變壓器的中性線截面應(yīng)與相線截面相同、供電變壓器的接線組別,應(yīng)采用D，yn11。16、0 10,每臺(tái)單晶爐和區(qū)熔爐附近 均應(yīng)設(shè)開關(guān)箱，箱內(nèi)應(yīng)設(shè)向主回路和控制回路供電的刀開關(guān)及一定數(shù)量的檢修插座、16,0。11。單晶爐。區(qū)熔爐及物理測(cè)試儀表,應(yīng)由同一臺(tái)變壓器供電、物測(cè)室的供電電源尚應(yīng)采取穩(wěn)壓措施。16。0。12、高頻區(qū)熔爐和外延生長(zhǎng)爐、均應(yīng)裝設(shè)電源濾波器.并應(yīng)符合下列規(guī)定,1,濾波器應(yīng)安裝在屏蔽室外墻上便于接線的地方、2、濾波器外殼接地和屏蔽室接地應(yīng)共用一套接地裝置。3，接地裝置應(yīng)采用鍍鋅銅板制作，其面積宜為1m2。2m2.厚度宜為5mm。4,鍍鋅銅板應(yīng)立埋于地下 上端距地面不應(yīng)小于2m、5。接地線的長(zhǎng)度嚴(yán)禁小于1。4工作波長(zhǎng)或1，4工作波長(zhǎng)的奇數(shù)倍，16。0.13 未裝設(shè)屏蔽設(shè)施的區(qū)熔室內(nèi) 由濾波器至用電設(shè)備的線路 應(yīng)進(jìn)行屏蔽。16。0、14。每臺(tái)區(qū)熔爐均應(yīng)設(shè)置一個(gè)獨(dú)立的槽路接地裝置,該裝置應(yīng)設(shè)置在區(qū)熔爐的地下距槽路最近的地方、接地裝置的形式和要求應(yīng)符合本規(guī)范第16。0。12條第3款 第4款的規(guī)定，16,0,15,氫還原爐，單晶爐.區(qū)熔爐和外延爐,當(dāng)冷卻水?dāng)嗨畷r(shí).應(yīng)切斷電源并應(yīng)有信號(hào)顯示.16，0。16。物測(cè)室的電源進(jìn)線處、應(yīng)裝設(shè)電源濾波器,電源濾波器外殼與屏蔽室接地應(yīng)共用一套接地裝置。并一點(diǎn)接地，接地裝置的形式和要求應(yīng)符合本規(guī)范第16 0，12條第3款、第4款的規(guī)定、16,0,17、物測(cè)室的電力和照明電源.均應(yīng)從濾波器后引接。物測(cè)室的照明光源宜采用白熾燈、16，0 18 穿越屏蔽室的電力。照明線路、在屏蔽室內(nèi)均應(yīng)采取屏蔽措施 線路的保護(hù)管或波導(dǎo)管在穿越處均應(yīng)與屏蔽網(wǎng)。板。做環(huán)路連續(xù)焊接、16、0、19,單晶車間 區(qū)熔室 物測(cè)室及片加工生產(chǎn)的電力設(shè)計(jì)，除應(yīng)符合本章規(guī)定外.尚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范.GB、50073的有關(guān)規(guī)定.