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16，半導(dǎo)體材料廠車間電力設(shè)計16 0.2 因通電時間短,其他用電設(shè)備尚未投入運行 此時電源的負(fù)荷率很低。完全可滿足這些短時用電的負(fù)荷 所以不必再計算這類負(fù)荷的用電及無功動率補償.16，0 3，三氯氫硅合成爐的工頻感應(yīng)線圈有三種計算方法。即變壓器法.貝塞函數(shù)法和實驗曲線法.本規(guī)范推薦采用實驗曲線法 該法是在某種特定條件下。用實際的感應(yīng)加熱器做實驗得出的曲線,并以此作為計算的基礎(chǔ) 該法計算簡潔.誤差允許,便于應(yīng)用。16,0，4,過去這類電控設(shè)計，電力和儀表專業(yè)由于配合不當(dāng),常常出現(xiàn)各搞一套的不協(xié)調(diào)局面 為改變這種狀況、使電控系統(tǒng)的設(shè)計更加合理。更有利于監(jiān)控和管理 避免不協(xié)調(diào)現(xiàn)象繼續(xù)發(fā)生。特制定此條 在控制室內(nèi)設(shè)有正壓通風(fēng)。是為防止SiHCI3?；騍iCl4 氣體對電控設(shè)備的腐蝕，但吸風(fēng)口應(yīng)設(shè)在戶外或經(jīng)簡易過濾裝置 保證控制室內(nèi)空氣純凈、16、0，5 多晶硅的電氣室是一個專用的電氣室。為了方便維護管理 減少占地面積 并經(jīng)多年實踐證明、高、低壓設(shè)備同室布置完全可行,本規(guī)范加以推薦,如電氣設(shè)備為油浸式冷卻方式。按防火要求、兩設(shè)備之間應(yīng)設(shè)防火隔墻并設(shè)排油設(shè)施.16.0。6、為減少電能損耗,便于維護管理、多晶硅氫還原爐電氣室通常與多晶硅氫還原爐室上下毗鄰。為了防止三氯氫硅氣體和氫氣滲入電氣室、所以在兩室之間嚴(yán)禁開設(shè)門窗及其他孔洞、電源線的穿越處應(yīng)做嚴(yán)密封堵 為安全起見，與電氣室無關(guān)的管道。不應(yīng)通過電氣室。否則應(yīng)采取隔離設(shè)施.16、0.7 當(dāng)還原爐高壓啟動和還原生產(chǎn)時。還原爐內(nèi)常有異?，F(xiàn)象發(fā)生.需常去電氣室觀察電氣設(shè)備運行情況.因此在還原爐控制室和電氣室之間設(shè)一個便于聯(lián)系的通道十分必要，16。0。9。變壓器中性線過熱是各半導(dǎo)體材料廠一致反映的問題,采取了加大中性線截面的措施,效果較好,D，yn11型變壓器比Y。yn0型變壓器對于限制三次諧波.降低零序阻抗,提高單相短路電流和保護裝置的靈敏度、具有明顯的優(yōu)越性，16.0。10.在單晶爐和區(qū)熔爐附近設(shè)開關(guān)箱、有利于單晶爐.區(qū)熔爐的斷電檢修和調(diào)試。確保安全。16。0,11,單晶爐 區(qū)熔爐及物測室的測試儀器對電壓穩(wěn)定度要求較高 電壓波動直接影響單晶體的形成和測試精度、因此對這些設(shè)備最好由單獨的變壓器供電 16，0。12。裝設(shè)電源濾波裝置是為了抑制區(qū)熔爐高頻裝置2MC 4MC高頻電源沿供電線路進(jìn)行傳導(dǎo)干擾、濾波器的安裝位置主要考慮線路簡潔，就地抑制、所以一般是安裝在屏蔽室外墻的電源進(jìn)線處，濾波器的接地可借助屏蔽室的高頻接地，用鍍鋅銅板制作接地裝置是根據(jù)北京勞防所提供的實踐資料并征求上海電科所的意見確定的，生產(chǎn)廠反映效果良好,高頻接地的接地線長度應(yīng)避開λ.4及λ 4的奇數(shù)倍、是為了減少接地線可能出現(xiàn)的干擾 當(dāng)接地線長度為高頻設(shè)備工作波長的1，4或1,4工作波長的奇數(shù)倍時、其阻抗為無窮大.此時它相當(dāng)于一根天線 可接收或輻射干擾信號、故應(yīng)避開采用這個長度。設(shè)計中接地線做得越短越好,16、0，13,本條規(guī)定是為了防止電源濾波器未加屏蔽的配電線路，經(jīng)高頻耦合越過濾波器對電源進(jìn)行干擾。16。0,14。區(qū)熔爐的槽路接地是高頻裝置要求的。每臺設(shè)備單獨設(shè)接地裝置是為了防止相互干擾，16,0、15。本條規(guī)定是為了使設(shè)備冷卻水?dāng)嗨芗皶r發(fā)現(xiàn)并加以保護,防止斷水運行燒壞設(shè)備、16。0，16.物測室裝設(shè)電源濾波器是為了由電源線傳入高頻干擾信號,做成一點接地的目的是防止不同的大地電位經(jīng)屏蔽網(wǎng)進(jìn)行干擾 16。0、17 防止經(jīng)電力。照明線路及熒光燈的鎮(zhèn)流器向室內(nèi)進(jìn)行干擾，16，0.18,這樣做是為了減少泄漏以提高屏蔽室的屏蔽效能,