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5.2.特種氣體探測系統(tǒng)5,2，1、本條是對電子工廠中設(shè)置特種氣體探測器位置的區(qū)域或場所的規(guī)定，本條第1款 第5款為強制性條款 必須嚴(yán)格執(zhí)行，1.3.自燃性.易燃性 劇毒性。毒性,腐蝕性氣體儲存。分配設(shè)備的排風(fēng)口,因發(fā)生特種氣體泄漏。可能達(dá)到規(guī)定報警濃度,應(yīng)設(shè)氣體探測器。4。使用惰性氣體房間應(yīng)設(shè)置氧氣探測器、主要是因為惰性氣體泄漏后 可能使空氣中氧濃度降低到使房間的作業(yè)人員造成窒息,且國內(nèi)外已有多個工廠發(fā)生惰性氣體造成人員窒息傷亡事故,5,自燃性、易燃性,劇毒性 毒性 腐蝕性氣體儲存,分配間內(nèi)的氣體發(fā)生泄漏 易積聚處應(yīng)設(shè)氣體探測器,主要是因為氣體儲存 分配間的體積相對于生產(chǎn)區(qū)較小、發(fā)生泄漏容易聚集,并達(dá)到報警的數(shù)字。6,自燃性.易燃性,劇毒性.毒性、腐蝕性氣體的使用場所是指使用以上氣體的工藝設(shè)備房間內(nèi)。氣體操作箱等氣體可能發(fā)生泄漏處附近、技術(shù)夾層內(nèi)氣體探測器是設(shè)置在有閥門箱等可能發(fā)生氣體泄漏,易積聚的設(shè)備內(nèi)。國際防火規(guī)范、IFC，2018第2703，13條，氣體探測系統(tǒng)，也做了規(guī)定，該條款摘錄如下，27章，半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置,2703 13、氣體探測系統(tǒng),符合916節(jié)的氣體探測系統(tǒng)將用于HPM氣體。按照2703、13.1至2703、13 2.2的要求.氣體和易燃性氣體的生理學(xué)報警閾值高于可接受允許暴露限制、Permissible，Exposure,Limit，PEL,2703 13 1.氣體偵測器需要布置的地方,2703.13，1，1至2703,13 1 4節(jié)規(guī)定了氣體偵測器應(yīng)布置的區(qū)域。2703，13.1.1，生產(chǎn)區(qū)、使用HPM氣體的電子生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)設(shè)置氣體偵測器，2703、13 1 2。HPM房間。使用HPM氣體的HPM房間應(yīng)設(shè)置氣體偵測器、2703 13，1、3、氣體柜、密閉排風(fēng)和氣體房間。HPM氣體的氣瓶柜和密閉排風(fēng)環(huán)境，HPM氣體未放置在氣瓶柜或密閉排風(fēng)的環(huán)境應(yīng)設(shè)置氣體偵測器、2703、13,1，4，走道，HPM氣體穿越由墻、地面，頂面構(gòu)成的走道應(yīng)設(shè)置氣體偵測器、5.2，2.由于自燃性,易燃性，有毒氣體一旦泄漏超過規(guī)定值.危害性極大。為此做了本條規(guī)定,一級報警后，即使氣體濃度發(fā)生變化,報警仍應(yīng)持續(xù) 只有經(jīng)人工確認(rèn)并采取相應(yīng)的措施后才能停止報警，特種氣體探測系統(tǒng)檢測裝置主要有以下幾種、1,自燃性.易燃性氣體檢測采用催化燃燒型檢測裝置、半導(dǎo)體檢測裝置、電化學(xué)檢測裝置,2、毒性氣體檢測采用電化學(xué)檢測裝置.3、根據(jù)使用場所的不同確定不同特種氣體采樣方式.正確選用擴散式檢測裝置、單點或多點吸入式氣體檢測裝置 5.2,3.為了明確檢測報警裝置的工作狀況。防止事故發(fā)生。本條規(guī)定了自燃性,易燃性 毒性氣體檢測裝置報警設(shè)定值的要求 本條第1款 第3款為強制性條款 必須嚴(yán)格執(zhí)行。1.本款規(guī)定了自燃性、易燃性氣體的一級報警和二級報警設(shè)定值,一級報警設(shè)定值不應(yīng)大于25，易燃性氣體爆炸濃度下限值。二級報警設(shè)定值不應(yīng)大于50。易燃性氣體爆炸濃度下限值是為了在氣體早期泄漏時.通過一次和二次監(jiān)測報警，自動關(guān)閉應(yīng)急切斷閥、關(guān)斷氣源，防止事態(tài)擴大,采用25,和50.分別作為一級和二級報警值時行業(yè)內(nèi)的通常做法.既可以判斷氣體泄漏、泄漏的氣體濃度又不會引起爆炸、2，本款規(guī)定了劇毒性 毒性氣體的一級報警和二級報警設(shè)定值、目的是在氣體早期泄漏時 自動關(guān)閉應(yīng)急切斷閥 保護工作人員的生命安全.一級、二級報警設(shè)定值也是根據(jù)國內(nèi)外多年的使用經(jīng)驗規(guī)定的.3。本款規(guī)定了惰性氣體間的氧氣探測器的一級報警和二級報警設(shè)定值 目的是為了防止惰性氣體泄漏導(dǎo)致人員窒息傷亡 氧氣探測器一旦報警 啟動應(yīng)急排風(fēng)和自動關(guān)閉應(yīng)急切斷閥，保護工作人員的生命安全,一級 二級報警設(shè)定值也是根據(jù)國內(nèi)外多年的使用經(jīng)驗規(guī)定的，4、本款規(guī)定二氧化碳?xì)怏w系統(tǒng)宜設(shè)二氧化碳?xì)怏w探測器、主要是因為近年來 電子工廠發(fā)生二氧化碳泄漏導(dǎo)致人員傷亡的情況,為保護人員生命安全、制定本款、目前國內(nèi)電子工廠多采用5000ppm作為C02的報警值.美國消防協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)，壓縮氣體和低溫液體規(guī)范。NFPA。55,2016第A.13，6,2,1條也做了規(guī)定、美國政府工業(yè)衛(wèi)生醫(yī)師學(xué)會，ACGIH，關(guān)于TLVS和BEIS.即化學(xué)物質(zhì) 物理藥物和生物暴露數(shù)組的臨界極限數(shù)組,TLVS,C02的最高允許濃度值，時間加權(quán)平均容許濃度 TLV TWA.確定為5000ppm,短期數(shù)組。STEL。TLV.為30000ppm 5.2，4、本條確定的數(shù)值符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)。石油化工可燃?xì)怏w和有毒氣體檢測報警設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)、GB.50493中的有關(guān)規(guī)定、同時結(jié)合半導(dǎo)體工廠使用氣體檢測裝置產(chǎn)品的快速響應(yīng)要求做出檢測報警響應(yīng)時間規(guī)定,5.2，5，氣體探測器的設(shè)置位置是否恰當(dāng)將直接影響到能否及時、正確報警.為確保生產(chǎn)廠房和特種氣體系統(tǒng)安全.穩(wěn)定運行。本條按特種氣體相對密度的不同,做出了氣體探測器的設(shè)置位置不同的規(guī)定。5 2。6.本條為強制性條文,必須嚴(yán)格執(zhí)行，規(guī)定在硅烷排風(fēng)管道中設(shè)置氣體探測器,設(shè)定報警值并與硅烷氣源的自動切斷閥進行聯(lián)鎖。目的是為了硅烷系統(tǒng)能做到早期報警、防止事故產(chǎn)生，規(guī)定硅烷站設(shè)置環(huán)境氣體探測器,設(shè)定報警值但不與硅烷自動控制系統(tǒng)聯(lián)鎖,這是為了防止環(huán)境中的硅烷氣體探測器誤報警導(dǎo)致影響正常生產(chǎn),綜合考慮安全與生產(chǎn)的關(guān)系后、規(guī)定報警但不切斷輸送系統(tǒng)。工作人員可在不停產(chǎn)的情況下,確認(rèn)報警是否是由硅烷泄漏引起還是其他原因造成的誤報.美國國家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會標(biāo)準(zhǔn)，硅烷和硅烷混合物的儲存和操作，ANSI,CGA、G、13。2015第11。1、4，1條 排風(fēng)區(qū)域內(nèi)的監(jiān)控，和11、1。4 2條。排風(fēng)區(qū)域外的監(jiān)控.也做了規(guī)定，現(xiàn)摘錄如下、11。1,4,1 排風(fēng)區(qū)域內(nèi)的監(jiān)控,排風(fēng)區(qū)域應(yīng)設(shè)置監(jiān)控裝置，當(dāng)硅烷氣體濃度小于或等于50ppm時，氣體監(jiān)控系統(tǒng)啟動報警.11。1，4.2 排風(fēng)區(qū)域外的監(jiān)控 排風(fēng)區(qū)域外應(yīng)設(shè)置監(jiān)控裝置。當(dāng)硅烷氣體濃度小于或等于5ppm時，氣體監(jiān)控系統(tǒng)啟動報警。