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1.總則1 0,1、本條是本標(biāo)準(zhǔn)的宗旨,鑒于電子工廠大部分的特種氣體具有自燃、易燃.毒性.腐蝕性。氧化性的特點(diǎn) 同時(shí)許多特種氣體都具有窒息性、密閉性好的電子工廠廠房內(nèi)窒息性氣體對人員的危害性不可忽視,所以、電子工廠中特種氣體站房的設(shè)計(jì)。建造對于確保財(cái)產(chǎn)安全.生命安全都十分重要.隨著國內(nèi)電子工廠特別是半導(dǎo)體器件、集成電路。光電器件類電子工廠 如大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路工廠。薄膜晶體管液晶顯示器、TFT。LCD,工廠,太陽能電池工廠、電子材料工廠等建設(shè)的日益增多 特種氣體系統(tǒng)的應(yīng)用越來越廣.因此.特種氣體站房及其系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 施工和驗(yàn)收要采取相應(yīng)的防火.防毒.防腐蝕和防窒息等安全措施。正確貫徹實(shí)施國家有關(guān)環(huán)境保護(hù)、節(jié)約能源等各種法律法規(guī)。同時(shí) 系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要具有先進(jìn)性和經(jīng)濟(jì)性,1、0。2,1.0 3,本標(biāo)準(zhǔn)適用范圍是從外購特種氣體與其附屬設(shè)備在工廠內(nèi)的站房開始到工藝設(shè)備之間的系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì) 施工和驗(yàn)收,不包含特種氣體的制取、提純。罐裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì).施工和驗(yàn)收 本標(biāo)準(zhǔn)主要適應(yīng)于電子工廠的工程設(shè)計(jì).施工和驗(yàn)收.科研院校的實(shí)驗(yàn)室.小型車間的特種氣體系統(tǒng)可參考執(zhí)行、1.0。4。鑒于特種氣體具有易燃易爆,毒性大.腐蝕性強(qiáng)的特點(diǎn)。結(jié)合國家倡導(dǎo)的綠色環(huán)保 以人為本理念,特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工應(yīng)符合國家相關(guān)政策要求。與本標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)的國家現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn) 規(guī)范主要有.建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范、GB。50016.爆炸危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范、GB.50058。氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范,GB、50177,工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范。GB,50316,自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范。GB。50084。工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn),等,
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