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- 特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) GB 50646-2020
- 1 總則
- 2 術(shù)語(yǔ)
- 3 特種氣體站房
- 4 特種氣體工藝系統(tǒng)
- 4．1 一般規(guī)定
- 4．2 特種氣體輸送系統(tǒng)
- 4．3 吹掃和排氣系統(tǒng)
- 4．4 硅烷工藝系統(tǒng)
- 5 生命安全系統(tǒng)
- 6 特種氣體管道輸送系統(tǒng)
- 7 建筑結(jié)構(gòu)
- 8 電氣與防雷
- 9 公用工程
- 10 特種氣體系統(tǒng)工程施工
- 11 特種氣體系統(tǒng)工程驗(yàn)收
- 附錄A 特種氣體管道氦檢漏方法
- 附錄B 電子工業(yè)用特種氣體的主要物化性質(zhì)(單一氣體)
- 本標(biāo)準(zhǔn)用詞說(shuō)明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說(shuō)明
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4.特種氣體工藝系統(tǒng)4。1 一般規(guī)定4。1。1。特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列主要裝置 1、儲(chǔ)存、供氣的氣瓶柜 氣瓶架.集裝格，臥式氣瓶.長(zhǎng)管拖車(chē) 2 氣體分配用閥門(mén)箱 閥門(mén)盤(pán) 3,輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)、4、尾氣處理裝置,4,1。2.特種氣體工藝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)特種氣體工藝參數(shù) 污染控制,使用安全的要求，4,1,3.不相容的特種氣體的排氣管道不得接入同一排氣系統(tǒng)。4 1。4。不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不得接入同一排風(fēng)系統(tǒng),