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2，術(shù)語2。0，1。特種氣體，specialty.gas.電子產(chǎn)品生產(chǎn)外延.化學(xué)氣相沉積、刻蝕、摻雜等工藝中使用的自燃性。易燃性.劇毒性，毒性、腐蝕性，氧化性。惰性等特殊氣體,2。0.2、自燃性氣體.pyrophoric、gas，也稱作發(fā)火氣體 是指在空氣中等于或低于54.時(shí)可能自燃的易燃?xì)怏w，2.0。3 易燃性氣體、flammable gas、一種在20 和標(biāo)準(zhǔn)壓力101。3kPa狀態(tài)時(shí)空氣混合有一定易燃范圍的氣體 2.0 4,劇毒性氣體,highly。toxic gas,半致死濃度,空氣中吸入4h,小于或等于100mL.m3的氣體,2，0 5。毒性氣體。toxic gas，半致死濃度,空氣中吸入4h,大于100mL，m3但不超過2500mL.m3的氣體、2.0、6 腐蝕性氣體 corrosive。gas、對材料或人體組織通過接觸產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)引起可見破壞或不可逆變化的氣體,2 0.7、氧化性氣體。oxidizing gas 一般通過提供氧氣，比空氣更能導(dǎo)致和促使其他物質(zhì)燃燒的任何氣體,2。0。8 惰性氣體，inert、gas。在一般情況下不會與其他物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的氣體，2，0,9、低蒸汽壓力氣體,low.vapor、pressure，gas.在室溫下的飽和蒸氣壓小于0、2MPa的氣體、2，0、10。特種氣體系統(tǒng)。specialty,gas。system.特種氣體的儲存，輸送與分配過程的設(shè)備,管道和附件的總稱。2,0，11。大宗硅烷系統(tǒng),bulk。silane system 是指包括ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組。長管拖車 鋼瓶集裝格,Y型臥式鋼瓶 或總的水容積超過250L的硅烷系統(tǒng)、2，0。12。大宗特種氣體系統(tǒng) bulk。specialty。gas。system。一般指單個(gè)氣體設(shè)備容積大于400L的特種氣體儲存和送氣系統(tǒng)，2 0 13，液態(tài)特種氣體系統(tǒng).liquid。specialty,gas、system,是指以液態(tài)輸送 分配，在用戶終端進(jìn)行汽化的特種氣體系統(tǒng),2、0,14。氣體探測系統(tǒng),gas detector.system GDS、設(shè)置在特種氣瓶柜 氣瓶架。閥門箱.閥門盤及其他特種氣體輸送設(shè)備與管道所覆蓋區(qū)域.通過檢測本質(zhì)氣體或關(guān)聯(lián)氣體在空氣中的濃度來判斷本質(zhì)氣體的泄漏 從而發(fā)出聲光報(bào)警信號.提供探測數(shù)據(jù)的系統(tǒng)，2,0,15。氣體管理系統(tǒng),gas，management,system GMS 包含特種氣體探測系統(tǒng),應(yīng)急處理系統(tǒng)，工作管理系統(tǒng)、監(jiān)視系統(tǒng).數(shù)據(jù)傳輸與處理系統(tǒng)的氣體管理與控制系統(tǒng)的統(tǒng)稱,2、0。16,生產(chǎn)區(qū) fabrication、area 電子生產(chǎn)廠房內(nèi)布置生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)的研發(fā),測試的區(qū)域，有些生產(chǎn)過程將使用危險(xiǎn)性生產(chǎn)材料 該區(qū)域?yàn)樯a(chǎn)廠房的核心區(qū)域,2,0.17，特種氣體間.specialty。gas,room。電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜。氣瓶架.臥式氣瓶 氣瓶集裝格 尾氣處理裝置等氣體設(shè)備,并通過管道向生產(chǎn)設(shè)備輸送特種氣體的房間.2 0 18,特種氣體站 specialty gas。station。電子工廠放置臥式氣瓶.氣瓶集裝格,ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組,長管拖車 尾氣處理裝置等氣體設(shè)備 并通過管道向用生產(chǎn)廠房氣設(shè)備輸送特種氣體的獨(dú)立建、構(gòu),筑物、2、0 19.特種氣體站房,specialty,gas station,and，room 是指在電子工廠特種氣體間與特種氣體站的統(tǒng)稱.2.0、20、硅烷站。silane,station.是指放置硅烷或硅烷混合氣體鋼瓶。鋼瓶集裝格、臥式鋼瓶.長管拖車或ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組。硅烷氣化裝置,尾氣處理裝置、電氣裝置等,并通過管道向生產(chǎn)廠房供應(yīng)硅烷氣體的獨(dú)立建。構(gòu),筑物或區(qū)域.2.0 21.氣瓶集裝格.the.bundle，of,gas.cylinders.用專用金屬框架固定.采用集氣管將多只氣體鋼瓶接口并聯(lián)組合的氣體鋼瓶組單元。2、0 22、1S、標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組.ISO,module。采用集氣管將氣體鋼瓶。長管鋼瓶或氣瓶集裝格相互連接并安裝在專用金屬框架上的組合集裝模塊，2.0，23,氣瓶柜，gas.cabinet。GC。特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與氣體輸送設(shè)備、2.0,24 氣瓶架，gas rack，GR，特種氣體使用的開放式氣瓶放置與氣體輸送設(shè)備。2、0，25 閥門箱。valve、manifold,box.VMB，特種氣體在輸送過程中使用的封閉式管道分配箱體，用于向一個(gè)或多個(gè)工藝設(shè)備提供特種氣體，2、0 26.閥門盤.valve、manifold、panel VMP、特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配裝置,用于向一個(gè)或多個(gè)工藝設(shè)備提供特種氣體,2 0。27 尾氣處理裝置，local。scrubber。自燃性 易燃性，劇毒性、腐蝕性等氣體的排氣與吹掃氣體的現(xiàn)場處理裝置 處理后的尾氣達(dá)到規(guī)定排放濃度 并排入用氣車間的排氣管道.2。0.28、臥式氣瓶.horizontal。cylinder,用于儲存較多特種氣體的氣瓶、一般水容積為450L，950L、2.0,29。限流孔板.restrict，flow。orifice,RFO。限定流體系統(tǒng)最大流量的一種裝置。2，0,30。過流開關(guān)。excess。flow.switch.EFS.流體系統(tǒng)的流量超出設(shè)定值時(shí) 給出開關(guān)信號.2,0。31、負(fù)壓氣源，sub，atmospheric,gas.source,SAGS、1型,在標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力下，鋼瓶內(nèi)和閥門出口均為負(fù)壓的氣源 2型,在標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力下、鋼瓶內(nèi)為正壓。閥門出口為負(fù)壓的氣源。2,0.32 不相容性 incompatible 不同氣體混合后即發(fā)生化學(xué)反應(yīng) 釋放出能量并對環(huán)境產(chǎn)生危害作用的特性。2.0，33、吹掃。purge 用氮?dú)饣蚨栊詺怏w對特種氣體系統(tǒng)內(nèi)的本質(zhì)氣體或工作氣體進(jìn)行置換的過程。2。0,34、排氣,vent,特種氣體設(shè)備與系統(tǒng)中排出的本質(zhì)氣體或工作氣體。2.0 35.氣體面板 gas，panel、集成切斷閥門。調(diào)壓閥，過濾器。壓力計(jì)等零部件的專用設(shè)施、2，0,36.半致死濃度 lethal concentration，50 LC50.在空氣中使健康的成年大白鼠連續(xù)吸入1h,能引起受試白鼠在14d內(nèi)死亡一半的氣體的濃度.2。0 37,爆炸濃度下限值 low、explosion limit.LEL、易燃性氣體在空氣或氧化氣體中發(fā)生爆炸的濃度下限值.2 0.38 最高允許濃度值 threshold，limit、value，TLV.毒性氣體在空氣中的濃度小于該值時(shí)、充分且持續(xù)暴露于該環(huán)境中的作用人員的健康不會受到損害.2,0、39，最高允許濃度值 時(shí)間加權(quán)平均允許濃度 threshold,limit.value.time weighted。average、TLV。TWA。作業(yè)人員按每天8h,每周5d工作制工作.健康不會受到損害的毒性氣體時(shí)間加權(quán)平均濃度,