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11、3,管路與系統(tǒng)驗收11.3、1、本條是對特種氣體管路施工安裝后的外觀檢查等做出的規(guī)定、其中.管件的安裝位置和方向應(yīng)符合設(shè)計文件要求,彎頭的揻制和焊縫的驗收應(yīng)符合本標準中相關(guān)章節(jié)的規(guī)定。11、3。3、本條規(guī)定的特種氣體管道安裝完后需進行5項測試。包括。1.壓力試驗,包括強度試驗和氣密性試驗或泄漏量試驗,由于此類管道大都輸送具有一定純度的各種特種氣體，為避免污染和吹凈水分的復(fù)雜過程、所以規(guī)定不能采用水壓試驗、一般采用高純氮氣或高純氬氣進行氣壓試驗,壓力試驗前管道及附件不應(yīng)進行絕熱保溫作業(yè)、管道各路出口應(yīng)用閥門，堵頭或其他措施隔離。在進行氣壓試驗前應(yīng)確認完成管道吹掃,管道強度試驗壓力應(yīng)為系統(tǒng)設(shè)計壓力的1 15倍、時間應(yīng)保持30min。氣壓試驗時,應(yīng)逐步緩慢增加壓力,當壓力升至試驗壓力的50.時,如未發(fā)現(xiàn)異狀或泄漏,應(yīng)繼續(xù)按試驗壓力的10.逐級升壓、每級穩(wěn)壓3min。直至試驗壓力，管道氣密性試驗壓力應(yīng)為系統(tǒng)設(shè)計壓力的1.05倍，時間應(yīng)保持24h、為避免晝夜溫度變化和長時間試驗時的壓力波動、所以應(yīng)記錄整個試驗過程的溫度。壓力變化 并對記錄值進行溫度,壓力修正后壓降值不得超過1.壓力試驗的壓力修正公式如下，式中 P1 初始表壓。P2.最終表壓、Patm。大氣壓力。通常為1.01bar，a,T1.初始周圍溫度K。K、273 15 T2。最終周圍溫度K,K。273。15。壓力試驗合格后.將壓力降低到0、5bar左右.保證管道內(nèi)為正壓并提交測試報告。格式可參考表6的規(guī)定.表6，壓力測試記錄表 2 氦檢漏試驗,由于特種氣體有易燃性、有毒、腐蝕性，氧化性、窒息性等特性.這些氣體在生產(chǎn)作業(yè)過程中一旦發(fā)生泄漏將會引發(fā)作火 中毒 腐蝕和損害作業(yè)人員健康等事故,為防止泄漏，特種氣體管道在進行氣密性試驗或泄漏性試驗后還應(yīng)進行氦檢漏試驗，以便嚴格檢查控制管道系統(tǒng)可能出現(xiàn)的泄漏點，確保管道施工質(zhì)量 特種氣體氦檢漏測試要求應(yīng)符合本標準附錄A的規(guī)定.測試完畢后,應(yīng)提交測試報告、格式見表7.表7,氦檢漏測試記錄表 3，顆粒、水，氧測試,為了確保特種氣體管道投入運行后、不會因為管道內(nèi)存在污染物或管道內(nèi)壁吸附的污染物質(zhì)逐漸釋放或管道附件 閥門花簇滲漏污染物，影響輸送的特種氣體受到污染 達不到產(chǎn)品生產(chǎn)所要求的純度。為此，應(yīng)在特種氣體進行氦檢漏試驗合格后進行純度試驗 根據(jù)所輸送的特種氣體種類和物理化學(xué)性質(zhì)的不同采用不同的試驗氣體,包括顆粒測試，水分測試，氧分測試的純度測試或純度試驗均采用增重法進行評價。即從被測試特種氣體管道的測試氣體引入端獲取引入的測試氣體的顆粒.水分、氧分含量。同被測試管道排出口的測試氣體的相關(guān)雜質(zhì)含量進行比較。若增量值未超過規(guī)定值.判斷為驗收合格,純度測試用儀器應(yīng)根據(jù)增量規(guī)定值的要求選用相應(yīng)檢測精度的分析儀器,顆粒度分析主要是檢查高純氣體系統(tǒng)中各種尺寸超細顆粒的數(shù)量,也是系統(tǒng)純度檢查和純度保證的一種方式。它對于輔助吹掃氣源的顆粒度有嚴格的要求、一般要求0、1μm、0，5μm的顆粒數(shù)量為零,輔助吹掃氣體的雷諾數(shù)應(yīng)大于10000.表8是各種尺寸管道顆粒檢查對于吹掃氣體流量及雷諾數(shù)的推薦要求、表8、管道吹掃氣體流量.氣體系統(tǒng)顆粒計數(shù)儀器大都采用激光式的計數(shù)儀器，激光顆粒計數(shù)儀主要應(yīng)用光散射和分子布朗運動的基本物理性質(zhì)制成.激光具有很好的單色性和極強的方向性,所以在沒有阻礙的無限空間中激光將會照射到無窮遠的地方.并且在傳播過程中很少有發(fā)散的現(xiàn)象.特種氣體系統(tǒng)顆粒測試合格的參考標準 1.大規(guī)模集成電路行業(yè)管道系統(tǒng)測試氣體中大于0。1μm的顆粒數(shù)宜小于或等于1顆、標準立方英尺.連續(xù)5次達標為合格，2,平板顯示行業(yè)管道系統(tǒng)測試氣體中大于0，1μm的顆粒數(shù)宜小于或等于1顆 標準立方英尺 連續(xù)3次達標為合格.3 太陽能電池行業(yè)管道系統(tǒng)測試氣體中大于0，3μm的顆粒數(shù)宜小于或等于1顆.標準立方英尺，連續(xù)3次達標為合格，4 顆粒測試完畢后，應(yīng)提交測試報告、格式見表9。表9，顆粒測試記錄表 4,水分測試,為保證高純氣體系統(tǒng)的水分含量及系統(tǒng)的純度、需要進行水分分析.一般情況下、直接閱讀水分分析儀的顯示數(shù)值。水分分析儀器有很多種.它的測量方式主要有電化學(xué)測量法和光學(xué)絕對測量法 特種氣體系統(tǒng)的水分測試應(yīng)符合下列要求 1,特種氣體系統(tǒng)水分測試時 氣體速度應(yīng)低于設(shè)計流速的10,且小于3m。s.2。測試氣源的水分應(yīng)小于10ppbv。3，水分測試合格參考標準.大規(guī)模集成電路行業(yè)管道系統(tǒng)測試氣體水分增量宜小于10ppbv。平板顯示行業(yè)管道系統(tǒng)測試氣體水分增量宜小于10ppbv，太陽能電池行業(yè)管道系統(tǒng)測試氣體水分增量宜小于20ppbv 4、測試結(jié)束后、應(yīng)至少保持20min穩(wěn)定在規(guī)定值以下為合格,5。水分測試完畢后,應(yīng)提交測試報告。格式見表10,表10，水分測試記錄表,5，氧分分析，氧分分析的目的和水分分析一樣,也是檢查氣體系統(tǒng)純度的一種方式,一般情況下.直接閱讀氧分分析儀的顯示數(shù)值。電子行業(yè)所用的氧分分析儀器主要為電化學(xué)分析儀器,特種氣體系統(tǒng)的氧分測試應(yīng)符合下列要求,1、特種氣體系統(tǒng)氧分測試時、氣體速度低于設(shè)計流速的10、且小于3m,s,2，測試氣源的氧分應(yīng)小于10ppbv,3。氧分測試合格的參考標準。大規(guī)模集成電路行業(yè)管道系統(tǒng)測試氣體氧分增量宜小于10ppbv 平板顯示行業(yè)管道系統(tǒng)測試氣體氧分增量宜小于10ppbV。太陽能電池行業(yè)管道系統(tǒng)測試氣體氧分增量宜小于20ppbv、4 測試結(jié)束后,應(yīng)至少保持20min穩(wěn)定在規(guī)定值以下為合格 5,氧分測試完畢后,應(yīng)提交測試報告。格式見表11。表11.氧分測試記錄表