2。術(shù)語,本章所列術(shù)語。定義是根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)的范圍和特種氣體的特性以及儲(chǔ)存,輸送的實(shí)際需要進(jìn)行制定,在制定相關(guān)術(shù)語時(shí)還依據(jù)美國(guó)消防協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn).壓縮氣體及低溫流體規(guī)范、Compressed Gases,and.Cryogenic,Fluids,Code。NFPA 55,2016版 建筑建設(shè)和安全規(guī)范,Building。Construction。and、Safety.Code,NFPA。5000,2018版,美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì),ANSI,標(biāo)準(zhǔn),硅烷和硅烷混合物的儲(chǔ)存和輸送。Storage,and、Handling,of Silane and。Silane.Mixture ANSI。CGA 13,2015版中的有關(guān)規(guī)定.如本節(jié)第2,0,16條 生產(chǎn)區(qū)。fabrication。area。是按照NFPA。5000。2018中的3,3.35,5,fabrication、area 制定的。該條的內(nèi)容摘錄如下 3。3,35,5,半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)研發(fā)區(qū)域。在該區(qū)域內(nèi).有些工藝生產(chǎn)需要使用危險(xiǎn)性生產(chǎn)材料,HPM、如本節(jié)第2 0.22條。ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組、是按照ANSI、CGA 13,2015中的3,2 4,1,2.ISO模塊。制定的、該條的內(nèi)容摘錄如下,3、2。4。1、2,采用集氣管將氣體鋼瓶、長(zhǎng)管鋼瓶或氣瓶集裝格相互連接并安裝在專用金屬框架上的組合集裝模塊,ISO模塊的框架及其角件都經(jīng)過特殊設(shè)計(jì),其尺寸適合于集裝箱船 高速公路集裝箱半掛車和鐵路運(yùn)集裝箱的多模運(yùn)輸 本章的特種氣體不包括電子工業(yè)中常用的五種大宗氣體.即氮?dú)?、氫?氧氣、氬氣和氦氣。