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4、特種氣體工藝系統(tǒng)4、1 一般規(guī)定4、1。1，4、1、2。特種氣體輸送系統(tǒng)是電子工廠中危險性重大的設(shè)施或場所、一旦特種氣體系統(tǒng)發(fā)生泄漏都可能造成人員,廠房、設(shè)備的嚴(yán)重?fù)p失 如特種氣體中的硅烷為自燃性.一旦泄漏就會與空氣中的氧氣發(fā)生劇烈反應(yīng),開始燃燒。砷烷為劇毒性 微量泄漏就可能導(dǎo)致人員的生命危險 因此。對系統(tǒng)設(shè)計的安全性要求十分嚴(yán)格,特種氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)保證生產(chǎn)工藝設(shè)備對流量.壓力,溫度等的工藝參數(shù)要求 為此。在氣源一端一般要配置高精度的流量計。壓力變送器.電子秤。溫控器等.對于大宗特種氣體系統(tǒng).不但要考慮管路壓降和液化鋼瓶蒸發(fā)吸熱對流量的影響。還要考慮特種氣體經(jīng)過調(diào)壓閥減壓后的焦耳、湯普遜效應(yīng)，部分特種氣體減壓后 溫度會降低。甚至液化。這會造成輸送壓力的不穩(wěn)定以及管路系統(tǒng)的損壞、因此需要考慮在減壓前對氣體進(jìn)行預(yù)熱，在管路吹掃.測試檢驗等每一個環(huán)節(jié)應(yīng)采取措施.使特種氣體工藝的設(shè)計滿足電子工廠生產(chǎn)工藝的要求，例如在更換鋼瓶后，可能有一段管路被外界氣體污染，所以要求管路設(shè)計應(yīng)滿足對此段管路以氮氣進(jìn)行反復(fù)沖吹.使其符合供應(yīng)質(zhì)量的要求.為此。特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)將鋼瓶置于氣瓶柜內(nèi)或氣瓶架上 大宗特種氣體應(yīng)采用集裝格，臥式氣瓶，長管拖車作為供氣裝置，并應(yīng)在生產(chǎn)工藝設(shè)備臨近處設(shè)置特種氣體的閥門箱 閥門盤.輔助氮氣吹掃系統(tǒng),尾氣處理裝置等，以保證特種氣體系統(tǒng)的安全和工藝對特種氣體質(zhì)量的要求、為滿足電子產(chǎn)品工藝對特種氣體工藝參數(shù).污染控制.使用安全的要求、并按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程.TSG.R0006。2014。6。7 1 4、瓶內(nèi)氣體不能用盡 壓縮氣體.溶解乙炔氣氣瓶的剩余壓力不小于0。05MPa。液化氣體、低溫液體氣瓶要有不小于0，5，1 0、規(guī)定充裝量的剩余氣體,同時，鑒于半導(dǎo)體工藝對氣體品質(zhì)要求非常高，5N以上 而且氣瓶里的氣體由于氣體固有特性和包裝物的特性，使用到后期時。剩余氣體的雜質(zhì)成分會慢慢析出、不純物濃度越來越高。所以按照經(jīng)驗設(shè)定剩余量為10.且液相不宜用干.4、1 3。為防止不相容特種氣體相遇發(fā)生反應(yīng)帶來安全危害、不相容的特種氣體的排氣體管道不得接入同一排氣系統(tǒng)、為此,做了本條的規(guī)定、4 1 4,工程實踐表明。特種氣體系統(tǒng)的排風(fēng)管道將不可避免地帶入濃度不同的特種氣體。為防止不相容特種氣體相遇發(fā)生反應(yīng)帶來安全危害.本條規(guī)定不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不得接入同一排風(fēng)系統(tǒng).