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4、3 吹掃和排氣系統(tǒng)4 3。1 本條為強(qiáng)制性條文。必須嚴(yán)格執(zhí)行，根據(jù)美國消防協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn),半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施防護(hù)標(biāo)準(zhǔn)，NFPA、318。2018第7、1 4條的相關(guān)條文對特殊氣體系統(tǒng)吹掃氣體的設(shè)置做了規(guī)定.7,1.4。4,吹掃面板的設(shè)計(jì)應(yīng)防止吹掃氣體和工藝氣體的返流與交叉污染。7。1、4,7.危險(xiǎn)性氣體鋼瓶的吹掃面板應(yīng)配置專用吹掃鋼瓶，7。1 4.7、1，相容氣體的吹掃面板可以共用一支吹掃鋼瓶 7,1,4。8,危險(xiǎn)性氣體鋼瓶的吹掃面板不得使用大宗氣體氣源。1.本款規(guī)定自燃性.易燃性、毒性，腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體應(yīng)與獨(dú)立的氣源連接、不得與公用氣源或工藝氣源系統(tǒng)相連，目的是為了防止上述危險(xiǎn)性特種氣體污染公用和工藝氣源系統(tǒng) 2.本款規(guī)定不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體不得共用同一氣源。目的是防止操作不當(dāng)造成不相容的特種氣體混合后造成污染和發(fā)生不良反應(yīng).3.本款規(guī)定吹掃氣體管線應(yīng)設(shè)置止回閥 目的是為了防止自燃性,易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體被本質(zhì)特種氣體污染，引發(fā)著火 中毒或設(shè)備拉壞等事故、4。3。2、本條從特種氣體質(zhì)量及系統(tǒng)安全的方面規(guī)定了吹掃氮?dú)獾臍怏w面板的設(shè)置要求。當(dāng)調(diào)壓閥下游的管件耐壓等級低于吹掃氣瓶的最高壓力.且未設(shè)置超壓氣源自動(dòng)切斷裝置時(shí) 應(yīng)設(shè)置安全閥 避免低壓閥件損壞.4、3.3，本條對特種氣體系統(tǒng)的輔助抽真空裝置的設(shè)置做了規(guī)定.1,由于電子工廠常有氮?dú)夤?yīng).且氮?dú)鈨r(jià)格低廉 性能穩(wěn)定。所以特種氣體系統(tǒng)的真空發(fā)生器一般采用氮?dú)庖涑檎婵?2,抽真空用氮?dú)庖嗽谶M(jìn)入真空發(fā)生器前加裝止回閥，并保持微量氣體流通.以避免真空發(fā)生器出口發(fā)生堵塞.排放氣體倒灌的風(fēng)險(xiǎn) 4 3，4，本條對特種氣體排氣與廢氣處理的設(shè)置做了規(guī)定、2.自燃性,易燃性.毒性 腐蝕性特種氣體系統(tǒng)在抽真空或吹掃過程中排出的超過規(guī)定濃度的特種氣體和特種氣體混合氣對環(huán)境與人體將會(huì)造成著火、中毒和損害設(shè)備.管路等安全危害,因此，這些特種氣體及混合氣應(yīng)通過排氣管道進(jìn)入尾氣處理裝置進(jìn)行處理 達(dá)到規(guī)定濃度后才能排入廠務(wù)排氣系統(tǒng)、4，3，5,尾氣處理裝置的設(shè)置是特種氣體系統(tǒng)的重要部分之一、既涉及特種氣體系統(tǒng)的儲存.輸送系統(tǒng)的安全運(yùn)行,也涉及生產(chǎn)廠房、周圍環(huán)境安全以及人員健康。1,尾氣處理裝置的類型有多種.具體某種特種氣體尾氣處理裝置的選型，應(yīng)根據(jù)其物理化學(xué)性質(zhì),排氣中特種氣體的濃度等特性進(jìn)行選擇,幾種尾氣處理方法對特種氣體的適用性大體是、干法吸附較適用于AsH3等,濕法洗滌較適用于NH3.NOx HCl等，熱分解或燃燒式較適用于CF4,SF6，SiH4，PH3等特種氣體。3、為防止不相容性特種氣體發(fā)生反應(yīng)引發(fā)事故、不相容性特種氣體應(yīng)分別采用不同的尾氣處理裝置進(jìn)行處理。從安全和環(huán)境保護(hù)的角度出發(fā) 尾氣處理裝置靠近特種氣體設(shè)備布置是為了縮短管道長度 便于與特種氣體設(shè)備一并考慮建筑、電氣的設(shè)計(jì)