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6,3。管道設(shè)計(jì)6.3,1,由于電子工廠應(yīng)用的特種氣體的品種多。且每種氣體的使用量較小的實(shí)際情況.特種氣體管道系統(tǒng)的管道設(shè)計(jì)中應(yīng)充分考慮所輸送的流體品種及其特性以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝所要求的動(dòng)力,流量等參數(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì).為此做了本條規(guī)定.管材通常采用美國(guó)機(jī)械工程師協(xié)會(huì)ASME。B36、10標(biāo)準(zhǔn)的Sch5或Sch10的管道.但是設(shè)計(jì)要符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范,GB.50316的規(guī)定,6、3.2、電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備用特種氣體的用量較小 壓力較低，因此、在進(jìn)行管道水力計(jì)算時(shí)應(yīng)充分考慮流量 壓力、溫度等參數(shù)。按照流量設(shè)計(jì)圖表對(duì)管道進(jìn)行設(shè)計(jì)計(jì)算、目前電子工廠中的大多數(shù)特種氣體管道的管徑較小,一般不超過(guò)DN25。6、3 3，由于電子工廠使用的特種氣體要求具有較高的純度、所以對(duì)輸送管道的材質(zhì)有嚴(yán)格的要求。目前主要是采用進(jìn)口的低碳不銹鋼管道，如EP管。BA管等,表3是不銹鋼管外徑和壁厚規(guī)格。電子行業(yè)常用的是美標(biāo)和日標(biāo)規(guī)格 表3，不銹鋼管道外徑壁厚規(guī)格6.3,4、為了保證液體的流動(dòng)。本條規(guī)定液態(tài)特種氣體水平管道應(yīng)有不小于0。3，的坡度,坡度應(yīng)坡向供液設(shè)備或收集器，6，3，5,由于自燃性,劇毒性和強(qiáng)腐蝕性氣體一旦泄漏 危害性極大 將會(huì)造成較大的人身傷亡和財(cái)產(chǎn)損失,目前在電子工廠中較多地采用雙層管道輸送這類特種氣體.屬于這類特種氣體的主要有強(qiáng)反應(yīng)性氣體.B2H6.H2Se。GeH4 SiH4，Si2H6，SiH3CH3 C2H2、B、CH3 3 F2，ClF3等 自燃性氣體 B2H6.GeH4、SiH4 Si2H6。SiH3CH3,B、CH3、3等，劇毒性氣體、AsH3，PH3,GeH4，B2H6、H2Se、F2、B、CH3，3 NO。ClF3 PF5等.但是在工程實(shí)際中.由于每一個(gè)工廠對(duì)氣體特性的理解不同,從而導(dǎo)致同一種高危險(xiǎn)性氣體在不同工廠所使用的管道不一致 6 3。6。為防止低蒸汽壓力氣體在輸送過(guò)程中 因?yàn)槔鋮s導(dǎo)致液化，導(dǎo)致輸送困難。無(wú)法使用，本條規(guī)定低蒸汽壓力氣體應(yīng)設(shè)置伴熱或保溫措施、電子工廠應(yīng)用的低蒸汽壓氣體主要有BCl3，C5F8，WF2、SiH2Cl2。ClF3等。6.3、7。為防止特種氣體的泄漏和確保管道焊接質(zhì)量 特種氣體管道宜采用全自動(dòng)管道焊接連接,與閥門或管件連接處、應(yīng)采用徑向面密封連接 VCR連接、規(guī)定不宜采用螺紋或法蘭連接的目的也是防止氣體在連接處發(fā)生泄漏,6、3,8 隔膜閥和波紋管閥都具有良好的密封性,且不易產(chǎn)生顆粒，而球閥,旋塞閥等,因采用填料密封,密封性較差。易發(fā)生泄漏,且閥門開關(guān)時(shí)有部件摩擦、易產(chǎn)生顆粒 不能滿足特種氣體的輸送過(guò)程的嚴(yán)格要求，6 3，9 為防止密封墊片與特種氣體性質(zhì)的不相容而產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),規(guī)定墊片宜采用不銹鋼或鎳墊片，墊片與特種氣體的性質(zhì)應(yīng)該相容 6，3 10。特種氣體鋼瓶接口處 在每次更換鋼瓶時(shí).因摩擦作用易產(chǎn)生顆粒，因此其下游宜設(shè)置過(guò)濾器、保護(hù)閥門的膜片和下游氣體不被污染,為了保證特種氣體的純度 在接入生產(chǎn)工藝設(shè)備前的特種氣體管道上宜設(shè)置精密過(guò)濾器