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4 4 硅烷工藝系統(tǒng)4、4，1.硅烷工藝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)下列因素確定、1。硅烷站的規(guī)模，2。硅烷的物理化學(xué)性質(zhì)，3.當(dāng)?shù)毓柰楣?yīng)的充裝，運(yùn)輸狀況.4。用戶(hù)對(duì)硅烷純度，壓力和負(fù)荷變化的要求 4 4 2。硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有硅烷容器。氣體面板。閥門(mén)箱及連接管道.4 4、3.硅烷氣體面板應(yīng)包括減壓過(guò)濾，吹掃、排氣、安全控制的功能，4，4 4,硅烷系統(tǒng)必須采用獨(dú)立的惰性氣源進(jìn)行吹掃 4。4 5、硅烷閥門(mén)箱設(shè)置除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第4,2 6條的規(guī)定外 還應(yīng)配置惰性氣體吹掃裝置,氣體泄漏探測(cè)器和紫外紅外火焰探測(cè)器。4，4、6.硅烷系統(tǒng)的排氣裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定.1.硅烷系統(tǒng)的排氣管不得接入排風(fēng)系統(tǒng).2。排氣管應(yīng)采用惰性氣體連續(xù)吹掃.吹掃氣體流速不得小于0 3m.s，4、4.7.硅烷連接管道鋼瓶側(cè)應(yīng)設(shè)置常閉式緊急切斷閥，硅烷站的安全出口應(yīng)設(shè)置手動(dòng)緊急切斷按鈕,至少有一個(gè)手動(dòng)緊急切斷按鈕與輸送裝置的距離不應(yīng)小于4,6m 4,4,8，硅烷系統(tǒng)閥門(mén),附件的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定 1.硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)采用金屬材質(zhì)的波紋管閥，隔膜閥.調(diào)壓閥。2。硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)流量配置不同直徑的限流孔板、3、硅烷系統(tǒng)應(yīng)配置過(guò)流開(kāi)關(guān) 緊急切斷閥 調(diào)壓閥的加熱裝置應(yīng)根據(jù)流量核算確定,