亚洲综合网站久久久_人妻久久相姦中文字幕_四虎永久在线精品免费看_日韩精品无码一区

4 特種氣體工藝系統(tǒng)4 1.一般規(guī)定4，1。1、4。1、2。特種氣體輸送系統(tǒng)是電子工廠中危險性重大的設(shè)施或場所，一旦特種氣體系統(tǒng)發(fā)生泄漏都可能造成人員。廠房、設(shè)備的嚴(yán)重?fù)p失、如特種氣體中的硅烷為自燃性、一旦泄漏就會與空氣中的氧氣發(fā)生劇烈反應(yīng) 開始燃燒，砷烷為劇毒性，微量泄漏就可能導(dǎo)致人員的生命危險,因此,對系統(tǒng)設(shè)計的安全性要求十分嚴(yán)格、特種氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)保證生產(chǎn)工藝設(shè)備對流量 壓力。溫度等的工藝參數(shù)要求，為此 在氣源一端一般要配置高精度的流量計.壓力變送器 電子秤。溫控器等.對于大宗特種氣體系統(tǒng)，不但要考慮管路壓降和液化鋼瓶蒸發(fā)吸熱對流量的影響，還要考慮特種氣體經(jīng)過調(diào)壓閥減壓后的焦耳、湯普遜效應(yīng)。部分特種氣體減壓后。溫度會降低.甚至液化，這會造成輸送壓力的不穩(wěn)定以及管路系統(tǒng)的損壞。因此需要考慮在減壓前對氣體進(jìn)行預(yù)熱.在管路吹掃,測試檢驗等每一個環(huán)節(jié)應(yīng)采取措施、使特種氣體工藝的設(shè)計滿足電子工廠生產(chǎn)工藝的要求、例如在更換鋼瓶后。可能有一段管路被外界氣體污染.所以要求管路設(shè)計應(yīng)滿足對此段管路以氮氣進(jìn)行反復(fù)沖吹 使其符合供應(yīng)質(zhì)量的要求，為此、特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)將鋼瓶置于氣瓶柜內(nèi)或氣瓶架上。大宗特種氣體應(yīng)采用集裝格 臥式氣瓶，長管拖車作為供氣裝置,并應(yīng)在生產(chǎn)工藝設(shè)備臨近處設(shè)置特種氣體的閥門箱 閥門盤.輔助氮氣吹掃系統(tǒng) 尾氣處理裝置等,以保證特種氣體系統(tǒng)的安全和工藝對特種氣體質(zhì)量的要求，為滿足電子產(chǎn)品工藝對特種氣體工藝參數(shù)、污染控制、使用安全的要求.并按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn).氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程 TSG。R0006，2014、6。7、1.4 瓶內(nèi)氣體不能用盡，壓縮氣體,溶解乙炔氣氣瓶的剩余壓力不小于0。05MPa.液化氣體 低溫液體氣瓶要有不小于0，5，1。0.規(guī)定充裝量的剩余氣體。同時。鑒于半導(dǎo)體工藝對氣體品質(zhì)要求非常高 5N以上,而且氣瓶里的氣體由于氣體固有特性和包裝物的特性。使用到后期時,剩余氣體的雜質(zhì)成分會慢慢析出 不純物濃度越來越高，所以按照經(jīng)驗設(shè)定剩余量為10，且液相不宜用干 4、1。3、為防止不相容特種氣體相遇發(fā)生反應(yīng)帶來安全危害、不相容的特種氣體的排氣體管道不得接入同一排氣系統(tǒng).為此、做了本條的規(guī)定 4,1，4，工程實踐表明，特種氣體系統(tǒng)的排風(fēng)管道將不可避免地帶入濃度不同的特種氣體。為防止不相容特種氣體相遇發(fā)生反應(yīng)帶來安全危害,本條規(guī)定不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不得接入同一排風(fēng)系統(tǒng)