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4 2,特種氣體輸送系統(tǒng)4。2 1.特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜。氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定 1、氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氣源 雙工藝氣瓶外置吹掃氣源,雙工藝氣瓶內(nèi)置吹掃氣源等多種結(jié)構(gòu)配置。2,不相容氣體瓶不應(yīng)放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中,3,氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置作業(yè)用氣體面板、4 系統(tǒng)的供應(yīng)能力應(yīng)經(jīng)過熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)算核實(shí)，5 氣瓶柜閉門時(shí)應(yīng)保持不低于100Pa負(fù)壓 柜內(nèi)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次、h、6。自燃性,易燃性.毒性 腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置固定式氣體泄漏探測器.7 氣瓶柜柜體外殼鋼板厚度不應(yīng)小于2。5mm、并應(yīng)有防腐蝕涂層、8 氣瓶柜門應(yīng)具備自動關(guān)閉功能.并應(yīng)配備防爆玻璃觀察窗。氣瓶柜的固定螺栓設(shè)計(jì)應(yīng)滿足當(dāng)?shù)氐卣鹪O(shè)防烈度的要求.9,氣瓶柜，氣瓶架應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)識牌，10 當(dāng)氣瓶柜放置在有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境時(shí)，其設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范,GB，50058的有關(guān)規(guī)定，4.2、2、特種氣體的氣瓶柜。氣瓶架的氣體面板設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定,1，自燃性 易燃性、毒性,腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有緊急關(guān)斷閥門,并應(yīng)為常閉氣動閥門,位置應(yīng)靠近氣瓶,2、氣瓶壓力大于0。1MPa的自燃性。易燃性.毒性.腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有過流開關(guān),3.自燃性,易燃性，毒性。腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有惰性氣體吹掃，輔助抽真空裝置 真空管路應(yīng)設(shè)止回閥.4.氣體面板應(yīng)設(shè)置工藝氣體排氣口。4，2，3.可燃和自燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)符合下列規(guī)定。1、當(dāng)硅烷氣瓶使用直徑0，25mm限流孔時(shí) 氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次.h、當(dāng)使用直徑0。15mm限流孔時(shí)，氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于400次 h、且氣瓶柜的負(fù)壓應(yīng)連續(xù)監(jiān)控 2 自燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外、紅外火焰探測器.3,易燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng).4，自燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。4。2，4 大宗特種氣體系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定.1，應(yīng)設(shè)置獨(dú)立氣瓶。儲罐或長管拖車等的壓力指示或鋼瓶稱重裝置,連接回型管。氣流控制的氣體面板，吹掃氮?dú)鈫卧?、電氣控制柜等裝置、2，大宗特種氣體系統(tǒng)的功能配備應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第4。2，1條的有關(guān)規(guī)定。3.液態(tài)氣體瓶應(yīng)設(shè)計(jì)鋼瓶加熱與保溫裝置 4。減壓降溫效應(yīng)顯著的氣體.應(yīng)在減壓前對氣體進(jìn)行預(yù)熱 4.2，5。液態(tài)特種氣體系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定。1,應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的液體槽罐 液體輸送柜,連接回型管，驅(qū)動氣體單元.吹掃氮?dú)鈫卧?電氣控制柜 重量計(jì)量等裝置,2。液態(tài)特種氣體系統(tǒng)宜利用驅(qū)動氣體壓力將液態(tài)特種氣體從槽罐輸送至液態(tài)特種氣體柜,或從液態(tài)特種氣體柜直接驅(qū)動輸送至用氣工藝設(shè)備。液態(tài)特種氣體亦可采用泵送,3.用氣點(diǎn)應(yīng)設(shè)置鼓泡器或蒸發(fā)器.將液態(tài)特種氣體鼓泡或直接蒸發(fā)。以汽化形式輸送至工藝反應(yīng)設(shè)備。4、液態(tài)特種氣瓶柜功能設(shè)置應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第4，2，1條的有關(guān)規(guī)定，5.具有自燃性和遇水反應(yīng)性的金屬有機(jī)物前驅(qū)體液體.供應(yīng)柜應(yīng)設(shè)置相應(yīng)滅火系統(tǒng).底部應(yīng)設(shè)置收集槽.并應(yīng)放置吸附材料、4。2.6、自燃性 易燃性，毒性.腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的閥門箱設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定、1,應(yīng)設(shè)置進(jìn)氣管路隔離閥及壓力指示裝置、2.氣體支路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥.過濾器,3、氣體支路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的出口隔離閥、4，氣體分支路應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的吹掃氣體裝置 4、2,7,惰性及氧化性特種氣體系統(tǒng)的閥門盤設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定。1。應(yīng)設(shè)有進(jìn)氣管路隔離閥及壓力指示裝置 2，氣體支路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥,過濾器，3,氣體支路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立出口隔離閥門。4 2、8.負(fù)壓氣源特種氣體的氣瓶柜，氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合負(fù)壓氣源特種氣體的特性。