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- 特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) GB 50646-2020
- 1 總則
- 2 術(shù)語
- 3 特種氣體站房
- 4 特種氣體工藝系統(tǒng)
- 4．1 一般規(guī)定
- 4．2 特種氣體輸送系統(tǒng)
- 4．3 吹掃和排氣系統(tǒng)
- 4．4 硅烷工藝系統(tǒng)
- 5 生命安全系統(tǒng)
- 6 特種氣體管道輸送系統(tǒng)
- 7 建筑結(jié)構(gòu)
- 8 電氣與防雷
- 9 公用工程
- 10 特種氣體系統(tǒng)工程施工
- 11 特種氣體系統(tǒng)工程驗(yàn)收
- 附錄A 特種氣體管道氦檢漏方法
- 附錄B 電子工業(yè)用特種氣體的主要物化性質(zhì)(單一氣體)
- 本標(biāo)準(zhǔn)用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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4、3，吹掃和排氣系統(tǒng)4、3.1。特種氣體系統(tǒng)吹掃氣體的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定、1 自燃性，易燃性。毒性。腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體應(yīng)與獨(dú)立的氣源連接，不得與公用氣源或工藝氣源系統(tǒng)相連.2,不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體不得共用同一氣源,3,吹掃氣體管線應(yīng)設(shè)置止回閥.4，3、2,吹掃氮?dú)獾臍怏w面板應(yīng)設(shè)有壓力調(diào)節(jié)閥、排氣管、高低壓截止閥。高低壓壓力指示裝置、安全閥。4,3。3.特種氣體系統(tǒng)的輔助抽真空裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定 1 真空發(fā)生器宜采用氮?dú)庾鳛橐錃庠矗?.抽真空用氮?dú)饪捎晒闷胀ǖ獨(dú)夤┙o 自燃性和腐蝕性氣體。氮?dú)夤?yīng)管道應(yīng)設(shè)置止回閥和微漏閥、4,3。4，特種氣體排氣與廢氣處理的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定，1,特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮?dú)庀♂屌c連續(xù)吹掃裝置、2 自燃性 易燃性.毒性 腐蝕性特種氣體的排空氣體應(yīng)經(jīng)過尾氣處理裝置處理.處理后的氣體應(yīng)符合現(xiàn)行國家廢氣排放要求.4,3 5,特種氣體尾氣處理裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定,1.尾氣處理裝置的類型、應(yīng)根據(jù)所處理的排氣中特種氣體的特性進(jìn)行選擇，不相容特種氣體應(yīng)分別設(shè)置尾氣處理裝置 2.尾氣處理裝置應(yīng)靠近特種氣體柜，氣瓶架等特種氣體設(shè)備布置、3.特種氣體的尾氣處理方法宜采用干式吸附.濕式洗滌 加熱分解,燃燒 等離子分解，稀釋及以上幾種處理方式的組合