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3,基本規(guī)定3.0.1。目前、從國(guó)內(nèi)外的工程實(shí)踐來(lái)看,發(fā)光二極管工廠的金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備布置經(jīng)常采取預(yù)留方式設(shè)計(jì) 改造和擴(kuò)建的情況也比較多 設(shè)計(jì)單位在方案設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考慮改造。擴(kuò)建.分期實(shí)施的可能性。并為此預(yù)留必要的工程條件、
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