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7，2、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)7，2，1,發(fā)光二極管生產(chǎn)廠房根據(jù)生產(chǎn)工藝的規(guī)模和場(chǎng)地布局確定采用單層還是多層的方案,并根據(jù)生產(chǎn)要求確定層高和柱距,1，單層排架結(jié)構(gòu)一般采用鋼筋混凝土排架結(jié)構(gòu)和鋼屋架或鋼梁與鋼筋混凝土柱組成的排架結(jié)構(gòu),2，單層門(mén)式剛架鋼結(jié)構(gòu)體系抗側(cè)剛度較柔、由于潔凈的生產(chǎn)環(huán)境要求建筑具有較好的密閉性 因此.在風(fēng)荷載作用下、層間位移角不宜高于1.400，3。多層框架結(jié)構(gòu)體系一般采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu),4 多層框排架結(jié)構(gòu)體系一般采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)僅在屋面采用鋼屋架或鋼梁鉸支在柱頂上、在頂層形成排架結(jié)構(gòu),柱頂上的鋼屋架或鋼梁不是抗側(cè)力構(gòu)件 7.2，3 建筑物廠房外振源的振動(dòng)大部分在淺層地基中以表而波的形式在水平方向傳播.傳到建筑物的基礎(chǔ)大底板下.這種建筑物效應(yīng)會(huì)使振動(dòng)衰減。是微振中存在的顯著現(xiàn)象，根據(jù)有關(guān)文獻(xiàn)報(bào)告的對(duì)工程實(shí)例的調(diào)查分析和過(guò)去實(shí)際工程的實(shí)測(cè),如果從一塊大板上割去一塊孤板用于支承敏感的設(shè)備。通過(guò)與鄰近大板的對(duì)比測(cè)量，被隔離的孤板水平振動(dòng)增大較多。這種現(xiàn)象說(shuō)明,基礎(chǔ)大板的存在可以抑制面波的水平成分、在垂直方向上 這種振動(dòng)衰減與底板厚。柱距的大小有關(guān)系，由于光刻機(jī)為該工藝的核心生產(chǎn)設(shè)備。該精密設(shè)備除采取這些措施外 還應(yīng)考慮其受到的外部振源如地基振動(dòng)、支持設(shè)備,現(xiàn)場(chǎng)作業(yè)的伴隨振源的影響.建議微振動(dòng)控制宜咨詢(xún)有相關(guān)設(shè)備微振動(dòng)控制經(jīng)驗(yàn)的結(jié)構(gòu)工程設(shè)計(jì)人員。