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- 發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 51209-2016
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 基本工序與生產(chǎn)協(xié)作
- 4.3 工藝區(qū)劃
- 4.4 設(shè)備布置
- 5 總 圖
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 8 動(dòng)力及氣體工程
- 9 供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防靜電
- 13 空間管理
- 附錄C 發(fā)光二極管生產(chǎn)的典型工藝流程
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4。工、藝4,1。一般規(guī)定4，1 4.4,1。5 根據(jù)對國內(nèi)一些發(fā)光二極管生產(chǎn)工廠的生產(chǎn)環(huán)境要求,工藝動(dòng)力品質(zhì),氣體、水，要求的調(diào)研數(shù)據(jù).通過匯總和比較、在附錄A給出了主要工序生產(chǎn)環(huán)境要求舉例，在附錄B給出了工藝動(dòng)力品質(zhì)要求舉例，在工藝設(shè)計(jì)時(shí)。業(yè)主或發(fā)包方未提出要求或暫時(shí)未提出要求時(shí)。可參照本規(guī)范附錄A,附錄B的要求確定.附錄A對于空氣潔凈度等級只給出一定的范圍供參考。比如對于烤盤,吹盤間，屬于設(shè)備維護(hù)用房間，可以放到非凈化區(qū)內(nèi) 但由于本規(guī)范所調(diào)研廠家出于設(shè)備維護(hù)方便方面的考慮,將其放置在與MOCVD間相鄰的房間內(nèi)、因此對烤盤.吹盤間也采取了凈化措施.與此類似的還有MOCVD輔助間.該房間用于放置尾氣處理設(shè)備,氣體純化等輔助設(shè)備，這些設(shè)備本身不需要凈化環(huán)境.只是從易于調(diào)試及使用方面考慮.多數(shù)發(fā)光二極管生產(chǎn)工廠將其放置在與MOCVD間相鄰的房間內(nèi)，也對該房間采取了凈化措施.附錄B給出了工藝動(dòng)力品質(zhì)、氣，水。要求舉例。根據(jù)選取的工藝設(shè)備不同，其對于動(dòng)力品質(zhì)的要求會(huì)有差別.對于研磨 切割用純水,所調(diào)研發(fā)光二極管生產(chǎn)工廠采用的純水的電阻率為4MΩ、cm.此水質(zhì)可以滿足工藝生產(chǎn)要求.4.1，6,本條主要考慮發(fā)光二極管生產(chǎn)工廠的生產(chǎn)多為大批量生產(chǎn),從節(jié)約能源方面考慮、主要生產(chǎn)車間的生產(chǎn)設(shè)備宜采用連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的方式、其他輔助生產(chǎn)車間、如原輔材料庫等.可以根據(jù)生產(chǎn)的要求配套,