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8,3。特種氣體供應8 3，1 特種氣體應采用外購鋼瓶氣體,液態(tài)氣體.在工廠內(nèi)設置儲存、分配系統(tǒng)。8,3。2、特種氣體儲存分配系統(tǒng)設備,應根據(jù)特種氣體的性質(zhì)和儲存數(shù)量布置在獨立的建構筑物內(nèi)、或布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)、8、3 3 特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜.氣瓶架的設置應符合下列規(guī)定 1、不相容氣體瓶嚴禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中，2，不相容的特種氣體的氣瓶架應布置在不同房間里、當布置在同一房間時 不相容特種氣體的氣瓶柜 氣瓶架之間的距離應大于6m 3 氣瓶柜閉門時的排風換氣次數(shù)不得低于300次,h，且氣瓶柜應保持負壓、4,自燃 可燃,毒性 腐蝕性氣瓶柜應在排風出口設置氣體泄漏探測器，5,氣瓶柜門應具備自動關閉功能，并應配備防爆玻璃觀察窗，氣瓶柜應采取抗震措施,設計應滿足當?shù)乜拐鹪O防烈度的要求.8，3、4.可燃.自燃特種氣體的氣瓶柜應符合下列規(guī)定，1，硅烷氣瓶柜閉門時的排風換氣次數(shù)不得低于1200次。h，且應連續(xù)監(jiān)控氣瓶柜的負壓、2。自燃特種氣體的氣瓶柜應設置紫外,紅外火焰探測器及水噴淋系統(tǒng)，3、可燃特種氣體的氣瓶柜應設置水噴淋系統(tǒng) 4.自燃、可燃特種氣體的氣瓶柜應在氣瓶之間設置隔離鋼板,8，3 5。特種氣體系統(tǒng)吹掃氮氣的設置、應符合下列規(guī)定、1 特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣應與獨立的氮氣源連接，不得與公用氮氣或工藝氮氣系統(tǒng)相連。2、不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣不得共用同一氮氣源,3、吹掃氮氣管線應設置止回閥，8.3，6.特種氣體排氣與廢氣處理的設置應符合下列規(guī)定，1。特種氣體系統(tǒng)的排氣管應設置氮氣稀釋與連續(xù)吹掃，2、不相容性特種氣體的排氣不得接入同一排氣主管 3。自燃.可燃.毒性.腐蝕性特種氣體的排氣應經(jīng)過尾氣處理裝置進行處理.排放應符合現(xiàn)行國家標準。大氣污染物綜合排放標準,GB、16297的有關規(guī)定、8,3。7。生產(chǎn)廠房內(nèi)的可燃和毒性特種氣體管道應明敷.穿過生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應設置套管,套管內(nèi)的管道不得有焊縫 套管與管道之間應采用密封措施.可燃、毒性 腐蝕性氣體管道的機械連接處、應置于排風罩內(nèi) 8。3。8.特種氣體和吹掃氣體的管道和管件應采用奧氏體超低碳不銹鋼無縫鋼管，內(nèi)表面應進行潔凈和鈍化處理，8 3。9、自燃，可燃 氧化性特種氣體管道.應設置靜電泄放的接地設施.8 3 10 室外布置的特種氣體管道應架空布置 8，3.11,當特種氣體為硅烷.磷烷、砷烷時、應采用雙層管道設計.8.3 12，特種氣體采用雙層管輸送時 雙層管的外層管道宜采用SS304奧氏體不銹鋼管道.內(nèi)層管道應與所輸送特種氣體的性質(zhì)匹配.