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- 發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 51209-2016
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語(yǔ)
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 5 總 圖
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 7.1 一般規(guī)定
- 7.2 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
- 8 動(dòng)力及氣體工程
- 9 供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防靜電
- 13 空間管理
- 附錄A 發(fā)光二極管典型生產(chǎn)環(huán)境要求
- 附錄B 發(fā)光二極管生產(chǎn)工藝動(dòng)力品質(zhì)要求
- 附錄C 發(fā)光二極管生產(chǎn)的典型工藝流程
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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- 硬泡聚氨酯保溫防水工程技術(shù)規(guī)范[附條文說明] GB 50404-2017
7。結(jié)。構(gòu)7、1，一般規(guī)定7,1，1,發(fā)光二極管工廠光刻機(jī)等精密設(shè)備基礎(chǔ)應(yīng)滿足微振動(dòng)控制的要求 7、1 2.產(chǎn)生較大振動(dòng)的設(shè)備基礎(chǔ)宜遠(yuǎn)離光刻機(jī)等精密設(shè)備區(qū)域。當(dāng)無(wú)法遠(yuǎn)離時(shí),對(duì)產(chǎn)生較大振動(dòng)的設(shè)備應(yīng)采取有效的隔振措施,7、1.3,生產(chǎn)廠房工藝生產(chǎn)區(qū)的結(jié)構(gòu)不宜設(shè)置伸縮縫.