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- 發(fā)光二極管工廠設(shè)計規(guī)范 GB 51209-2016
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 基本工序與生產(chǎn)協(xié)作
- 4.3 工藝區(qū)劃
- 4.4 設(shè)備布置
- 5 總 圖
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 8 動力及氣體工程
- 9 供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防靜電
- 13 空間管理
- 附錄C 發(fā)光二極管生產(chǎn)的典型工藝流程
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4、3，工藝區(qū)劃4.3 1。發(fā)光二極管的功能區(qū)按工藝流程一般包括,金屬有機化學(xué)氣相沉積生產(chǎn)區(qū)、管芯制備、光刻，顯影,刻蝕.薄膜,蒸鍍。合金 清洗。區(qū) 減薄.切割裂片、測試,分選區(qū)，管芯封裝區(qū) 裝片。金線鍵合.灌膠,點膠,固化 切筋、編帶,測試,等 工藝區(qū)劃一般應(yīng)按上述功能區(qū)進行劃分、相同的工序宜集中布置,4.3 3.本條主要考慮部分生產(chǎn)線為一次規(guī)劃 分期實施、為實現(xiàn)分期實施.在設(shè)置工藝設(shè)備搬入口時，應(yīng)考慮后期工藝設(shè)備的搬入方式.在工藝功能規(guī)劃時、應(yīng)預(yù)留有后期設(shè)備搬入的通道及搬入口、4 3，4,金屬有機化學(xué)氣相沉積生產(chǎn)區(qū) 管芯制備區(qū)為發(fā)光二極管生產(chǎn)的核心區(qū)域.企業(yè)一般不希望外來參觀者進入此區(qū)域 同時又希望能夠展示企業(yè)的技術(shù)實力.因此在進行工藝區(qū)劃時，應(yīng)設(shè)置與主生產(chǎn)區(qū)的生產(chǎn)環(huán)境相隔離的參觀設(shè)施。使得參觀人員無需更換潔凈服就可參觀