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- 發(fā)光二極管工廠設(shè)計規(guī)范 GB 51209-2016
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 5 總 圖
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 8 動力及氣體工程
- 9 供暖、通風、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防靜電
- 13 空間管理
- 附錄A 發(fā)光二極管典型生產(chǎn)環(huán)境要求
- 附錄B 發(fā)光二極管生產(chǎn)工藝動力品質(zhì)要求
- 附錄C 發(fā)光二極管生產(chǎn)的典型工藝流程
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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2、術(shù)，語2 0,1。發(fā)光二極管 light、emitting、diode，LED。一種能夠?qū)㈦娔苻D(zhuǎn)化為可見光的固態(tài)半導(dǎo)體器件.2.0,2 外延,epitaxy,在單晶襯底?；?上生長一層或多層有一定要求的,與襯底晶向相同或相似的單品層的生長技術(shù)、2，0。3,金屬有機化合物化學氣相沉積.metal，organic。chemical,vapor、deposition,MOCVD.以.族，族元素的金屬有機化合物和.族元素的氫化物等作為品體生長原材料,以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進行氣相外延,生長各種.族。族化合物半導(dǎo)體及其多元薄層單晶材料的工藝過程 2。0,4.空間管理，space，management。為有效利用空間.縮短工作流程，對大到整個廠區(qū)的建筑物布局,地下管線規(guī)劃。小到一棟建筑物內(nèi)部各個專業(yè)間的配置協(xié)調(diào)而進行的設(shè)計