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8，3.特種氣體供應(yīng)8 3,1。從目前發(fā)光二極管工廠特種氣體使用的具體情況看.特種氣體多采用外購鋼瓶氣體,液態(tài)氣體,在工廠內(nèi)設(shè)置儲存、分配系統(tǒng),8.3、2 根據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)。建筑設(shè)計防火規(guī)范,GB,50016的規(guī)定.特種氣體儲存分配系統(tǒng)設(shè)備應(yīng)根據(jù)特種氣體的性質(zhì)和儲存數(shù)量。布置在獨立的建構(gòu)筑物內(nèi)或布置在生產(chǎn)廠房內(nèi) 規(guī)定用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與其他生產(chǎn)區(qū)域分隔、隔墻上的門應(yīng)為甲級防火門、8、3，3.特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜 氣瓶架是特種氣體氣瓶存放和進(jìn)行氣體配送的裝置 1。規(guī)定不相容氣體瓶嚴(yán)禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中,目的是為了防止不相容氣體在非正常狀態(tài)下相遇發(fā)生反應(yīng).釀成重大事故。本款為強制性條款，必須嚴(yán)格執(zhí)行，3、規(guī)定氣瓶柜閉門時排風(fēng)換氣次數(shù)不低于300次。h。目的是為了控制氣瓶柜內(nèi)的有害氣體如果一旦泄漏。其泄漏量能夠控制在安全濃度以下、控制氣瓶柜在負(fù)壓下運行,是為了不讓有害氣體泄漏至工作環(huán)境中 保障員工的生命安全.該款制定的依據(jù)是SEMI。S2第23.5、3條。該條敘述、泄漏時 環(huán)境中的濃度應(yīng)低于25、OEL.TLV、閉窗時.根據(jù)實驗數(shù)據(jù)得到風(fēng)量200m3，h，考慮不同公司。氣瓶柜的尺寸的差異,規(guī)定300次.h的換氣次數(shù)、4，規(guī)定自燃性，可燃性，毒性.腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄漏探測器 目的是在這些特種氣體泄漏開始時就探測到這些有害氣體的泄漏狀況,采取措施預(yù)防事故發(fā)生,5、規(guī)定瓶柜門應(yīng)具備自動關(guān)閉功能。并配備防爆玻璃觀察窗，目的是防止在人員誤操作的情況下導(dǎo)致氣體外泄到工作環(huán)境中,釀成重大事故,地腳螺栓的設(shè)計滿足當(dāng)?shù)氐卣鹆叶鹊囊笠彩菑陌踩慕嵌茸龀龅囊?guī)定、8 3 4,可燃性特種氣體包括自燃性 可燃性氣體,此類氣瓶柜的設(shè)置應(yīng)依據(jù)該類特種氣體的自燃性.可燃性特性。規(guī)定了氣瓶柜內(nèi)設(shè)置的相關(guān)規(guī)定,如排風(fēng)次數(shù)。紫外 紅外火焰探測器設(shè)置 水噴淋系統(tǒng)以及自燃性氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板等安全措施。以確保安全可靠運行.其中第一款規(guī)定硅烷氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次。h 該款的依據(jù)是美國消防協(xié)會發(fā)布的 Standard for。the、Protection.of.Semiconductor、Fabrication。Facilities.NFPA。318、2006第8,5，3的相關(guān)條款 當(dāng)硅烷滿瓶時 壓力為1500PSI。保證硅烷安全的體積濃度0 4.爆炸下限為1、34 時的排風(fēng)量為284L、sec。在氣瓶柜體積為0.85m3的狀況下,硅烷氣瓶柜的排氣次數(shù)為1200次，h，8.3,5.為防止自燃性，可燃性，毒性。腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣被本質(zhì)特種氣體污染、引發(fā)著火,中毒或設(shè)備拉壞等事故 并應(yīng)在吹掃氮氣管線設(shè)置止回閥。8,3，6.自燃性?？扇夹?毒性.腐蝕性特種氣體系統(tǒng)在抽真空或吹掃過程中排出的超過規(guī)定濃度的特種氣體和特種氣體混合氣對環(huán)境與人體將會造成著火，中毒和損害設(shè)備.管路等安全危害，因此這些特種氣體及混合氣應(yīng)通過排氣管道進(jìn)入尾氣處理裝置進(jìn)行處理.達(dá)到規(guī)定濃度后才能排入動力排氣系統(tǒng)、為防止不相容性特種氣體發(fā)生反應(yīng)引發(fā)事故,不相容性特種氣體應(yīng)分別采用不同的尾氣處理裝置進(jìn)行處理，8.3 7、為防止可燃和毒性特種氣體發(fā)生泄漏時造成人員傷害 本條規(guī)定生產(chǎn)廠房內(nèi)的可燃和毒性特種氣體體管道應(yīng)明敷，穿過生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管。套管內(nèi)的管道不得有焊縫.套管與管道之間應(yīng)采用密封措施，可燃,毒性。腐蝕性氣體管道的機械連接處,應(yīng)置于排風(fēng)罩內(nèi) 8、3.8。工程實踐表明 電子工廠特種氣體和吹掃氣體管道輸送系統(tǒng)常用管道材料應(yīng)采用SS304.SS316。SS316L等不銹鋼無縫鋼管和HC，22哈氏合金無縫鋼管等,根據(jù)特種氣體品種和純度.雜質(zhì)含量要求。特種氣體管道內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理.管道內(nèi)表面粗糙度,對BA管道要求小于Ra40，EP管道要求小于Ra25 為此。本條做了原則性規(guī)定、8,3、9 由于管道系統(tǒng)產(chǎn)生的靜電容易導(dǎo)致管道系統(tǒng)發(fā)生燃燒等危險現(xiàn)象的發(fā)生、規(guī)定自燃性，可燃性、氧化性特種氣體 例如發(fā)光二極管生產(chǎn)用到的氧氣.氯氣.笑氣等。管道設(shè)置靜電泄放的接地設(shè)施，可有效 及時地泄放靜電。防止管道系統(tǒng)被靜電引燃 從而保障人員的安全和避免財產(chǎn)的損失,本條為強制性條文,必須嚴(yán)格執(zhí)行，8。3。11 由于硅烷。磷烷.砷烷這幾種特種氣體具有自燃性 劇毒性和強腐蝕性。氣體一旦泄漏，危害性極大,將會造成較大的人身傷亡和財產(chǎn)損失、所以電子工廠均采用雙層管道輸送這類特種氣體，本條文為強制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行.8，3.12 在保證安全和工藝要求的前提下 節(jié)省投資也是工程設(shè)計的重要內(nèi)容，為此，本條規(guī)定了雙層管的外管作為安全保護的第二道屏障。采用SS304材料即可滿足要求，且一般不做特殊的潔凈要求，