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9，3?？諝庹{(diào)節(jié)與凈化9 3 1，本條是對新風(fēng)處理機(jī)組設(shè)置的規(guī)定 1。本款規(guī)定是為了很好地控制潔凈室內(nèi)的正壓值,同時也為了節(jié)能，2,本款規(guī)定的目的是室外含塵空氣在送入潔凈室前徹底過濾,從而延長潔凈室頂部FFU內(nèi)過濾器或潔凈室頂部末端高效過濾器的使用壽命.9，3。2、規(guī)定本條是建議光刻間采用。新風(fēng)處理機(jī)組.風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組、干冷卻盤管.的凈化空調(diào)系統(tǒng)、其他清凈室采用.新風(fēng)處理機(jī)組.循環(huán)空氣處理機(jī)組、高效過濾器送風(fēng)口,的凈化空調(diào)系統(tǒng).作此規(guī)定主要考慮了潔凈室的形式,綜合造價、綜合能耗 系統(tǒng)可靠性 空間管理、運(yùn)行維護(hù)管理等因素、9,3，3、規(guī)定本條主要是防止金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間的危險氣體竄到別的房間。9。3,4.規(guī)定本條主要是考慮房間相對濕度是由新風(fēng)機(jī)組保證的、干冷卻盤管不應(yīng)承擔(dān)去濕功能，避免在冬季出現(xiàn)新風(fēng)處理機(jī)組加濕而循環(huán)空氣處理機(jī)組去濕的相互抵消現(xiàn)象發(fā)生,9、3.5。規(guī)定本條主要是考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端高效過濾器隨運(yùn)行時間增加而積塵量上升，從而導(dǎo)致阻力加大.且末端高效過濾器的初、終阻力相差懸殊、若循環(huán)空調(diào)機(jī)組內(nèi)風(fēng)機(jī)不采取變頻調(diào)速措施。風(fēng)機(jī)始終以滿足末端高效過濾器終阻力狀態(tài)運(yùn)行、明顯不節(jié)能.9 3、6,發(fā)光二極管工廠冬季有大量的余熱.如制冷機(jī)組的冷凝器余熱 工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)余熱.空壓機(jī)組的壓縮余熱等、這部分余熱量很大，但能提供的溫度相對較低，所以設(shè)計加熱和加濕系統(tǒng)時。應(yīng)考慮最大限度的利用這部分余熱，如采用溫水加濕方式,兩級加熱.兩級加濕，方式等,9,3.9 目前對于潔凈度嚴(yán)于等于6級的潔凈室大多采用，新風(fēng)處理機(jī)組,風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組,干冷卻盤管,的凈化空涮系統(tǒng)。且使用的風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組、FFU、規(guī)格大部分為1200mm 1200mm.按照國家現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn).風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組 JG。T 388的有關(guān)規(guī)定、1200mm,1200mm的單機(jī)噪聲,標(biāo)準(zhǔn)型 57dB。A。根據(jù)國內(nèi)幾個工廠潔凈室噪聲的實測數(shù)據(jù),當(dāng)潔凈室FFU采用滿布時，清凈室內(nèi)FFU的疊加噪聲一般為FFU的單機(jī)噪聲加13dB、A。左右,所以本規(guī)范將該類潔凈室的噪聲適當(dāng)放寬，