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- 發(fā)光二極管工廠設(shè)計規(guī)范 GB 51209-2016
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 基本工序與生產(chǎn)協(xié)作
- 4.3 工藝區(qū)劃
- 4.4 設(shè)備布置
- 5 總 圖
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 8 動力及氣體工程
- 9 供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防靜電
- 13 空間管理
- 附錄C 發(fā)光二極管生產(chǎn)的典型工藝流程
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4.4 設(shè)備布置4,4 1、振動敏感設(shè)備指用于發(fā)光二極管芯片生產(chǎn)的光刻機、發(fā)光二極管芯片測試的探針臺,為避免振動源對此類微振敏感設(shè)備的影響、此類振動敏感設(shè)備應(yīng)盡量遠(yuǎn)離振動源布置.4,4，2,本條主要針對工藝生產(chǎn)分期實施提出 對于產(chǎn)業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)、發(fā)光二極管生產(chǎn)設(shè)備宜根據(jù)設(shè)備種類適當(dāng)集中布置 當(dāng)分期實施時，需考慮預(yù)留空位,因投資限制。同時考慮節(jié)約廠房運行費用.可按設(shè)定的生產(chǎn)大綱配置工藝設(shè)備 以實現(xiàn)緊湊的工藝平面布置、4、4、3 4,4。4,金屬有機化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備是生產(chǎn)發(fā)光二極管的關(guān)鍵設(shè)備。并與其輔助設(shè)備關(guān)聯(lián)比較密切。金屬有機化學(xué)氣相沉積生產(chǎn)的輔助設(shè)備包括.氣瓶柜。尾氣處理設(shè)備，氣體純化柜 金屬有機化學(xué)氣相沉積生產(chǎn)所需的特殊氣體，如硅烷、砷烷 磷烷等.放在氣瓶柜中 通過管道接至金屬有機化學(xué)氣相沉積設(shè)備 氫氣 氮氣,氨氣需經(jīng)過氣體純化設(shè)備純化后接至金屬有機化學(xué)氣相沉積設(shè)備使用點.工藝尾氣需經(jīng)過尾氣處理設(shè)備處理后再行處理或排放。上述設(shè)備均為使用會產(chǎn)生危險氣體的設(shè)備。雖然在工程設(shè)計中可以采取一些措施。將產(chǎn)生危險的概率降至最低。在工藝功能規(guī)劃、設(shè)備布置時、宜將這些輔助設(shè)備.氣瓶柜,尾氣處理設(shè)備.氣體純化柜.集中,靠外墻布置、