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- 發(fā)光二極管工廠設計規(guī)范 GB 51209-2016
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 5 總 圖
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 7.1 一般規(guī)定
- 7.2 結(jié)構(gòu)設計
- 8 動力及氣體工程
- 9 供暖、通風、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防靜電
- 13 空間管理
- 附錄A 發(fā)光二極管典型生產(chǎn)環(huán)境要求
- 附錄B 發(fā)光二極管生產(chǎn)工藝動力品質(zhì)要求
- 附錄C 發(fā)光二極管生產(chǎn)的典型工藝流程
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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7。結(jié),構(gòu)7.1,一般規(guī)定7、1，1。發(fā)光二極管工廠光刻機等精密設備基礎應滿足微振動控制的要求.7，1、2，產(chǎn)生較大振動的設備基礎宜遠離光刻機等精密設備區(qū)域。當無法遠離時、對產(chǎn)生較大振動的設備應采取有效的隔振措施。7,1 3.生產(chǎn)廠房工藝生產(chǎn)區(qū)的結(jié)構(gòu)不宜設置伸縮縫、