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9,3，空氣調(diào)節(jié)與凈化9.3，1 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)應(yīng)進(jìn)行集中處理。新風(fēng)處理機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定，1 送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動調(diào)速措施。2,空氣宜經(jīng)過粗效。中效,高效過濾器三級處理。3.新風(fēng)處理機(jī)組應(yīng)有良好的氣密性.在工作壓力下的漏風(fēng)率不得大于1,9。3，2。光刻間凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組和干冷卻盤管處理,其他潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用循環(huán)空氣處理機(jī)組處理、9.3、3 金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間的凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)應(yīng)獨立設(shè)置 9。3，4，循環(huán)空氣處理機(jī)組宜采用干冷卻方式處理空氣 9、3 5、循環(huán)空氣處理機(jī)組的風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動調(diào)速措施。9,3。6 空調(diào)加熱,加濕系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)利于工廠余熱的利用,9、3,7,潔凈室的送風(fēng)量。應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB。50073的有關(guān)規(guī)定、9。3.8。凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)吸入口位置。應(yīng)遠(yuǎn)離排放有害物或可燃物的排氣口,9 3 9.潔凈室的噪聲控制設(shè)計的噪聲級?？諔B(tài).應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn).電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范、GB.50472的有關(guān)規(guī)定.但當(dāng)潔凈室采用風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組和干冷卻盤管處理循環(huán)空氣時 單向流和混合流潔凈室的噪聲級,空態(tài),不應(yīng)大于70dB.A。非單向流潔凈室的噪聲級，空態(tài)、不應(yīng)大于65dB,A。