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4 3、工藝區(qū)劃4,3，1 本條規(guī)定了核心生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)工藝區(qū)劃的原則、1 隨著薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展,玻璃基板的尺寸越來越大 生產(chǎn)線的經(jīng)濟(jì)規(guī)模也有增加,因此核心生產(chǎn)區(qū)域的面積也越來越大、以產(chǎn)能為60K，大片、月的6代線為例。其陣列工序段的核心生產(chǎn)區(qū)域的面積已達(dá)35000m2，而8,5代線則更是達(dá)到了75000m2 而且近年來產(chǎn)業(yè)集成度的提高、也使得高世代薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)線多采取陣列,彩膜.成盒及模組4個(gè)工藝段集成在一個(gè)廠區(qū)的建設(shè)方案 這更是加大了薄膜晶體管液晶顯示器工廠的面積需求,在如此大的面積需求下.如果仍采取單層平鋪的方式布置、無論從節(jié)約用地,還是平面運(yùn)輸距離的角度考慮都是不太適宜的。而且從近年來國內(nèi)多個(gè)項(xiàng)目的工程實(shí)踐來看。疊層布置的方式在防微震設(shè)計(jì)等技術(shù)方面是可行的。2、薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)設(shè)備對(duì)生產(chǎn)環(huán)境要求很高.但其中某些設(shè)備自身也會(huì)產(chǎn)生諸如振動(dòng)。電磁輻射、熱輻射和空氣懸浮粒子污染等不利的影響,常見的設(shè)備及其不利影響包括、Stocker、Stocker是薄膜晶體管液晶顯示器行業(yè)專用術(shù)語、是一種自動(dòng)化立體倉庫。中堆垛機(jī)。Crane 產(chǎn)生的振動(dòng) 化學(xué)氣相沉積機(jī),CVD，產(chǎn)生的熱輻射和其高頻電源產(chǎn)生的射頻輻射.濕法刻蝕機(jī)產(chǎn)生的酸性氣體等。因此在確定工藝區(qū)劃時(shí)、應(yīng)盡量避免此類設(shè)備對(duì)敏感設(shè)備.如光刻、特別是曝光機(jī),的不利影響.3。薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)中的產(chǎn)品基本采用專用的搬運(yùn)器具和設(shè)備進(jìn)行搬運(yùn) 搬運(yùn)器具的體積和搬運(yùn)批量較大 批量生產(chǎn)時(shí).而薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)區(qū)的人流則具有人員多。特定時(shí)間段人流密度大。如交接班期間、的特點(diǎn)。將人員和物料入。出。口分別設(shè)置可以避免人、物流混雜交錯(cuò)帶來的安全事故隱患.提高生產(chǎn)效率.同時(shí)減少對(duì)生產(chǎn)區(qū)內(nèi)潔凈環(huán)境的不利影響。由于人身凈化流程的需要，生產(chǎn)區(qū)人員出 入口一般為合并設(shè)置 除應(yīng)急疏散出口外，物料的出,入口則根據(jù)生產(chǎn)線布置的整體物流路徑一般采取分散設(shè)置的方式，對(duì)于使用原材料種類較多的模組工藝段、還可以根據(jù)生產(chǎn)線布置在所需不同原材料的特定位置附近設(shè)置多個(gè)原材料入口、4、薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)線設(shè)備眾多 絕大部分設(shè)備精密度高,價(jià)格昂貴.對(duì)搬運(yùn)過程中的安全和振動(dòng)控制等要求很高.另外.工藝設(shè)備安裝通常在潔凈室施工基本完成，且投入正常運(yùn)行后方可進(jìn)行,因此在工藝區(qū)劃和設(shè)備布置時(shí)應(yīng)規(guī)劃出空間足夠的設(shè)備搬入通道以及連接廠房內(nèi)，外的設(shè)備搬入口，由于薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)線,特別是陣列和彩色濾光片工藝段、所用潔凈室常采用上.下技術(shù)夾層空調(diào)凈化方式.核心生產(chǎn)區(qū)工作平面，設(shè)備安裝平面,大大高于室外地坪、此時(shí)設(shè)備搬入口即成為設(shè)備吊裝入口，為方便吊裝 需要在設(shè)備搬入口設(shè)置吊裝搬入平臺(tái).在近年的薄膜晶體管液晶顯示器工廠建設(shè)工程實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)中,吊裝搬入平臺(tái)基本分為移動(dòng)式 臨時(shí)性,和固定式，永久性，兩種。移動(dòng)式平臺(tái)通常由設(shè)備搬入專業(yè)公司提供并安裝,在工程設(shè)計(jì)中需考慮提供適當(dāng)?shù)氖彝饣A(chǔ)，在設(shè)備搬入完成后即予以拆除、固定式則作為生產(chǎn)廠房的附屬部分在工程設(shè)計(jì)中統(tǒng)一考慮并設(shè)計(jì)施工完成。在設(shè)備搬入完成后可永久保留以便供今后設(shè)備搬入.移出.時(shí)使用 固定式吊裝搬入平臺(tái)也可分為落地式和外挑式2種.吊裝搬入平臺(tái)形式的選擇一般需根據(jù)建設(shè)單位和設(shè)備搬入專業(yè)公司的使用要求,搬入技術(shù)條件 場地條件等因素綜合確定.5、薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)工藝步驟多、流程長。具有多重工序加工循環(huán)、重入的特點(diǎn)。當(dāng)采用工序集中布置時(shí)、同一類型的工藝設(shè)備相對(duì)集中地布置在同一區(qū)域內(nèi)。有利于生產(chǎn)調(diào)度和設(shè)備負(fù)荷調(diào)整，易于現(xiàn)場操作和設(shè)備調(diào)整 而且由于區(qū)域內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境要求基本一致、動(dòng)力供應(yīng)和各類排放的品種、性質(zhì)相近，負(fù)荷集中、更易于進(jìn)行環(huán)境的控制和調(diào)整.有利于管道布置.對(duì)于節(jié)能降耗也有很大幫助，從行業(yè)實(shí)踐的經(jīng)驗(yàn)看,薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)的核心區(qū)基本采取了工序集中布置的方式、以陣列段為例 核心生產(chǎn)區(qū)通常分為薄膜區(qū)、光刻區(qū)、濕法刻蝕區(qū)。干法刻蝕區(qū)和測試檢測區(qū)等。分別將化學(xué)氣相沉積機(jī).濺射機(jī) CVD。Sputter。涂膠 曝光.顯影 濕法刻蝕機(jī),干法刻蝕機(jī)，缺陷檢查機(jī)等集中布置在上述區(qū)域，從而便于集中設(shè)置所需的生產(chǎn)環(huán)境和動(dòng)力供應(yīng)設(shè)施.如黃光照明,不同等級(jí)的潔凈空調(diào)和廢水排水設(shè)施等.同時(shí)也可以很大程度地避免化學(xué)氣相沉積機(jī)、濺射機(jī)、濕法刻蝕機(jī)等所產(chǎn)生的空氣污染和設(shè)備發(fā)熱對(duì)光刻與檢測工藝、設(shè)備。的不利影響 4 3，2，薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)線有強(qiáng)烈的高技術(shù)特點(diǎn)。出于企業(yè)宣傳 職工培訓(xùn) 接待客戶或政府主管部門考察等各種需要.在生產(chǎn)區(qū)邊緣設(shè)置一定的與生產(chǎn)區(qū)隔離的參觀設(shè)施是適宜的,這樣既可以避免生產(chǎn)線外人員對(duì)生產(chǎn)環(huán)境和生產(chǎn)秩序的干擾,也可以更好地展示企業(yè)形象和高科技生產(chǎn)的特點(diǎn)、參觀設(shè)施的設(shè)置方式和位置則宜結(jié)合具體生產(chǎn)線布置形式和整體人流設(shè)計(jì)方案確定、4。3。3 薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn).特別是高世代生產(chǎn)線，物料消耗量大.對(duì)連續(xù)生產(chǎn)的要求高 在廠區(qū),或廠房，內(nèi)設(shè)置相應(yīng)的庫房是完全必要的，1 薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)中所用原,輔材料種類繁多、其中既有火災(zāi)危險(xiǎn)性很低的戊類物品。如玻璃基板等,也包含有強(qiáng)烈腐蝕或火災(zāi)。爆炸.危險(xiǎn)的化學(xué)危險(xiǎn)品 如磷酸、丙酮等。還有一些原材料是需要低溫或干燥保存的 如光刻膠等.因此除應(yīng)根據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范、GB、50016的有關(guān)規(guī)定合理劃分不同火災(zāi)危險(xiǎn)性的倉庫類型外 還應(yīng)根據(jù)物料的物理化學(xué)特性。存儲(chǔ)環(huán)境要求等適當(dāng)分類設(shè)置,薄膜晶體管液晶顯示器工藝生產(chǎn)中使用的原。輔材料.特別是化學(xué)品、種類眾多，不同的建設(shè)單位選擇的工藝技術(shù)路線不同,其所使用的原。輔材料也不相同。且常常隨著產(chǎn)品和工藝技術(shù)的發(fā)展出現(xiàn)更新和變化,在確定主要原、輔材料的安全特性時(shí)，設(shè)計(jì)人員應(yīng)以有關(guān)化學(xué)品供應(yīng)商提供的化學(xué)品安全技術(shù)說明書,SDS,為設(shè)計(jì)依據(jù) 2、薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)所需的大部分物料包裝單元尺寸大、重量重，且物品價(jià)值高,廠外運(yùn)輸多采用大型貨運(yùn)汽車運(yùn)輸，廠內(nèi)裝卸勞動(dòng)量大、為提高裝卸效率 保障裝卸作業(yè)安全 站臺(tái)的設(shè)置是必要的、4,3,4，當(dāng)核心生產(chǎn)區(qū)設(shè)有技術(shù)夾層時(shí).該區(qū)域通常布置有主生產(chǎn)設(shè)備的附屬和支持設(shè)備 如真空泵.特種氣體柜，有毒廢氣處理裝置,光刻膠回收裝置等 另外.技術(shù)夾層通常安裝有大量動(dòng)力供應(yīng)管線，閥門和控制裝置等、因此為上述設(shè)備和管線、裝置等留出一定的檢修空間和搬運(yùn)通道是十分必要的