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- 薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 51136-2015
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 5 廠址選擇及總體規(guī)劃
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 8 氣體動(dòng)力
- 8.1 冷、熱 源
- 8.2 大宗氣體供應(yīng)
- 8.3 特種氣體供應(yīng)
- 8.4 壓縮空氣供應(yīng)
- 8.5 工藝真空和清掃真空
- 9 供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防 靜 電
- 13 化 學(xué) 品
- 14 空間管理
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8。5，工藝真空和清掃真空8,5 1、根據(jù)工藝真空系統(tǒng)的特點(diǎn).工藝真空設(shè)備應(yīng)盡可能靠近工藝設(shè)備。規(guī)定真空設(shè)備應(yīng)布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)供氣站內(nèi)，為防止工藝真空壓力太大導(dǎo)致管道的破壞,本條規(guī)定工藝真空系統(tǒng)宜設(shè)計(jì)真空壓力過低保護(hù)裝置、8、5 2.由于真空管道絕對(duì)壓力較低 真空管道設(shè)計(jì)對(duì)管道的直徑和長度都較為敏感 因此本條規(guī)定壓力工藝真空管路設(shè)計(jì)應(yīng)布置成支狀系統(tǒng).同時(shí)，真空管道的直徑應(yīng)考慮流量與壓力的因素，工藝真空主管道的直徑應(yīng)按照全系統(tǒng)實(shí)際抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)，主支管道的直徑應(yīng)按照局部系統(tǒng)實(shí)際抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì).支管道的直徑應(yīng)按照設(shè)備最大抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)。工藝真空與工藝設(shè)備直接相連,為防止不適度的真空管道材料對(duì)工藝系統(tǒng)的污染。本條規(guī)定真空管道材料宜根據(jù)工藝真空系統(tǒng)的真空壓力及真空特性選用不銹鋼管或厚壁聚氯乙烯管道。