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9、3，空氣調(diào)節(jié)與凈化9，3，1.本條對新風(fēng)處理機組的設(shè)置作了規(guī)定、1。本款規(guī)定是為了很好地控制潔凈室內(nèi)的正壓值,同時也為了節(jié)能 2。本款規(guī)定目的是使室外含塵空氣在送入潔凈室前得以徹底過濾，從而延長潔凈室頂部風(fēng)機過濾機組。FFU、內(nèi)過濾器的使用壽命。3、本款規(guī)定是為了提高新風(fēng)處理系統(tǒng)的可靠性、確保潔凈室內(nèi)的正壓值和潔凈度，4 本款規(guī)定是為了滿足工藝設(shè)備的防微振要求 一般功率大于7,5kW的風(fēng)機 電機與風(fēng)機應(yīng)采用直接驅(qū)動形式。6,考慮到薄膜晶體管液晶顯示器工廠一般建在工業(yè)區(qū)、區(qū)內(nèi)存在不少向大氣中排放有害氣體的工廠.薄膜晶體管液晶顯示器工廠本身就是一個污染物的排放源.而恰恰薄膜晶體管液晶顯示器工廠的有些生產(chǎn)工序?qū)@些有害氣體比較敏感。車間內(nèi)濃度超過一定限值后會影響產(chǎn)品質(zhì)量.采用淋水室加濕方式在加濕的同時，可以對這些有害氣體達(dá)到去除的作用、可謂一舉兩得.而規(guī)定采用溫水淋水室、主要是為了降低加濕前的空氣溫度、使加熱器的熱水供水溫度得以降低，這樣薄膜晶體管液晶顯示器工廠大量的低位余熱能得以利用.達(dá)到最大程度的節(jié)能.9，3 2。本條規(guī)定是建議陣列.彩膜.成盒廠房的潔凈室采用新風(fēng)處理機組,風(fēng)機過濾器機組.干冷卻盤管的凈化空調(diào)系統(tǒng) 模組和背光源廠房的潔凈室采用新風(fēng)處理機組 循環(huán)空氣處理機組,高效過濾器送風(fēng)口的凈化空調(diào)系統(tǒng)。這樣規(guī)定主要考慮了潔凈室的形式,綜合造價,綜合能耗，系統(tǒng)可靠性 空間管理、運行維護管理等因素，9,3，3.通過CFD，計算流體動力學(xué).氣流模擬顯示、當(dāng)潔凈室回風(fēng)方向?qū)挾瘸^80m時 雖然采用雙側(cè)回風(fēng).如不采取其他措施、潔凈室內(nèi)的氣流偏斜非常嚴(yán)重、個別地方甚至出現(xiàn)渦流,另外、通過CFD氣流模擬結(jié)果顯示、在多種改善氣流偏斜的措施中.在寬度方向布置不同阻力的回風(fēng)高架地板是相對簡單。有效的辦法、9。3，4，本條對干冷卻盤管的設(shè)置作了規(guī)定、1，2.主要是考慮到FFU的機外余壓有限以及降低能源消耗、3.主要考慮到氣流以及房間溫度的控制,4、主要是考慮房間相對濕度是由新風(fēng)機組保證的.干冷卻盤管不承擔(dān)去濕功能，而且為了潔凈室的維護以及相對濕度的控制,干冷卻盤管不應(yīng)有去濕功能.干冷卻盤管的供水溫度應(yīng)通過計算確定,通常宜高于潔凈室、區(qū) 內(nèi)的露點溫度。5、干冷卻盤管在正常運行時雖無冷凝水析出 但考慮到潔凈室在高濕環(huán)境下啟動和干冷卻盤管,管路系統(tǒng)意外滲漏以及干冷卻盤管及水系統(tǒng)需要檢修而排水等因素,最好還應(yīng)設(shè)置積水盤及排水系統(tǒng) 9,3。5,薄膜晶體管液晶顯示器工廠潔凈室由于面積巨大 所以FFU數(shù)量很多，為了方便調(diào)節(jié)和節(jié)省能耗，宜采用直流調(diào)速電機并配置相應(yīng)的控制系統(tǒng)。使操作人員在控制室內(nèi)很容易對每臺FFU實現(xiàn)單獨控制。薄膜晶體管液晶顯示器工廠潔凈室有些區(qū)域FFU布置率較高.為滿足潔凈室內(nèi)的噪聲要求 FFU應(yīng)采取消音措施，為保證潔凈度以及FFU內(nèi)高效、超高效,過濾器的使用壽命，消音裝置不得采用發(fā)塵材料,聚四氟乙烯濾料的過濾器具有氣體釋放量小,抗腐蝕，濾紙強度大等優(yōu)點.但由于它是表面過濾的機理 所以容塵量相對較小，當(dāng)房間潔凈度低于6級時、回風(fēng)空氣中含塵量相對較大。過濾器達(dá)到容塵量上限的時間相對縮短.所以規(guī)定潔凈度等級低于6級的潔凈室不宜采用聚四氟乙烯濾料的過濾器，9,3.6。本條規(guī)定主要考慮了能耗 FFU所能提供的機外余壓，上、下技術(shù)夾層壓力分布，氣流均勻性.噪聲,空間合理利用等因素，9。3.7，本條對空調(diào)冷、熱源和水系統(tǒng)的設(shè)置作了規(guī)定，1,主要是考慮節(jié)能、因為冷凍水溫提高1.制冷機組的COP值提高3 左右.所以薄膜晶體管液晶顯示器的一般空調(diào)系統(tǒng)和凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)最大限度地使用中溫冷凍水.另外、從兩種冷源提供的時效考慮,低溫冷凍水主要用于處理新風(fēng)以保證室內(nèi)的相對濕度，供水溫度通常為5 7。提供的是季節(jié)冷源。中溫冷凍水主要用于處理潔凈室內(nèi)的循環(huán)風(fēng)。為保證干冷卻,供水溫度通常為12、14,常年提供 而薄膜晶體管液晶顯示器工廠的一般空調(diào)系統(tǒng)和凈化空調(diào)系統(tǒng)與工藝生產(chǎn)有關(guān)、工藝設(shè)備常年有發(fā)熱負(fù)荷.且生產(chǎn)車間幾乎多在內(nèi)區(qū)、需要常年供給冷凍水、所以從這個角度考慮。也應(yīng)該采用中溫冷凍水，薄膜晶體管液晶顯示器工廠潔凈室面積很大、相應(yīng)干冷卻盤管水系統(tǒng)也很大、如不采用同程式冷凍水系統(tǒng).安裝在水系統(tǒng)中的遠(yuǎn)端和近端干冷卻盤管的資用壓力相差很大 水系統(tǒng)很難平衡和調(diào)節(jié)、3.本款規(guī)定主要是考慮減少供水干管的散冷量,降低供水干管遠(yuǎn)端的溫升.使遠(yuǎn)端的干冷卻盤管的熱交換能力不受影響.4、本款規(guī)定主要是考慮防微振的要求。防止水管系統(tǒng)的振動直接傳遞到建筑物結(jié)構(gòu)系統(tǒng)中而影響工藝生產(chǎn)、5、本款規(guī)定主要是考慮避免因空調(diào)水系統(tǒng)發(fā)生意外的漏水而影響電力系統(tǒng)的正常工作。甚至發(fā)生事故。9 3、9。根據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn).電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB 50472的有關(guān)規(guī)定。單向流和混合流潔凈室.區(qū),的噪聲級，空態(tài)。不應(yīng)大于65dB。A，非單向流潔凈室、區(qū) 的噪聲級 空態(tài)、不應(yīng)大于60dB A。但考慮到目前大部分薄膜晶體管液晶顯示器工廠的潔凈室采用新風(fēng)處理機組、風(fēng)機過濾器機組。干冷卻盤管的凈化空調(diào)系統(tǒng),且使用的風(fēng)機過濾器機組、FFU,規(guī)格大部分為1200.1200。按照現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，風(fēng)機過濾器機組.JG，T,388的有關(guān)規(guī)定，1200,1200的單機噪聲 標(biāo)準(zhǔn)型、小于或等于57dB、A、根據(jù)國內(nèi)幾個工廠潔凈室噪聲的實測數(shù)據(jù)，當(dāng)潔凈室FFU采用滿布時,潔凈室內(nèi)FFU的疊加噪聲一般為FFU的單機噪聲加13dB。A，左右，所以本規(guī)范將該類潔凈室的噪聲適當(dāng)放寬,