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9、供暖,通風(fēng)??諝庹{(diào)節(jié)與凈化9.1,一般規(guī)定9、1、5.潔凈室,區(qū),與周圍的環(huán)境應(yīng)保持一定的靜壓差。這是為了確保潔凈室 區(qū).的正常工作狀態(tài)或空氣平衡暫時(shí)受到破壞時(shí),空氣流只能從空氣潔凈度等級(jí)高的房間.區(qū)域 流向空氣潔凈度等級(jí)低的房間、區(qū)域,使?jié)崈羰?。區(qū),內(nèi)的空氣潔凈度不會(huì)受到污染空氣的干擾 本條第1款考慮到有些薄膜晶體管液晶顯示器工廠的潔凈室雖然潔凈度等級(jí)不同 但潔凈室的上,下夾層相通,此時(shí)要嚴(yán)格做到不同潔凈度等級(jí)的潔凈室 區(qū)。間的壓差不小于5Pa有較大難度、且也沒有必要.所以條文中規(guī)定不同等級(jí)的潔凈室。區(qū),之間的靜壓差宜大于或等于5Pa,但應(yīng)嚴(yán)格保證氣流是從空氣潔凈度等級(jí)高的房間,區(qū)域。流向空氣潔凈度等級(jí)低的房間。區(qū)域,9 1。6 薄膜晶體管液晶顯示器工廠陣列、彩膜.成盒生產(chǎn)工序?qū)ξ⒄裼袊?yán)格的要求,通常為VC,C和VC,B、所以對(duì)于管徑大于或等于125mm的水管和當(dāng)量直徑大于或等于600mm的風(fēng)管不宜布置在核心生產(chǎn)區(qū).當(dāng)這種情況不可避免時(shí),應(yīng)根據(jù)微振要求、管道尺寸。安裝方式.管內(nèi)介質(zhì)流速等因素采取相應(yīng)的減振措施、

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