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- 薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 51136-2015
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語(yǔ)
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 基本工序
- 4.3 工藝區(qū)劃
- 4.4 設(shè)備配置
- 5 廠址選擇及總體規(guī)劃
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 8 氣體動(dòng)力
- 9 供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防 靜 電
- 13 化 學(xué) 品
- 14 空間管理
- 附錄A 薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)工藝流程
- 附錄B 微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)VC曲線
- 本規(guī)范用詞說(shuō)明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說(shuō)明
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4。4，設(shè)備配置4,4 1。生產(chǎn)設(shè)備和輔助設(shè)備的選擇應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50472的有關(guān)規(guī)定.且宜采用自動(dòng)化程度高、耗能低 排放少的設(shè)備.4，4，2.陣列。彩膜和成盒工序應(yīng)采用玻璃基板卡匣或其他專用工裝搬運(yùn)產(chǎn)品，批量生產(chǎn)線宜采用全自動(dòng)物料搬送系統(tǒng)、生產(chǎn)區(qū)采取多層布置方式時(shí)?？鐚由a(chǎn)區(qū)之間的產(chǎn)品搬運(yùn)宜設(shè)置自動(dòng)垂直運(yùn)輸設(shè)備.4.4。3 化學(xué)氣相沉積和物理氣相沉積設(shè)備安裝區(qū)域應(yīng)配置潔凈室專用的檢修起重設(shè)備。