亚洲综合网站久久久_人妻久久相姦中文字幕_四虎永久在线精品免费看_日韩精品无码一区

8,3.特種氣體供應(yīng)8、3,1。從目前薄膜晶體管液晶顯示器工廠特種氣體使用的具體情況看。特種氣體多采用外購(gòu)鋼瓶氣體.液態(tài)氣體。在工廠內(nèi)設(shè)置儲(chǔ)存，分配系統(tǒng),8.3,2，8。3 3 根據(jù)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范、GB.50016的規(guī)定、特種氣體儲(chǔ)存分配系統(tǒng)設(shè)備應(yīng)根據(jù)特種氣體的性質(zhì)和儲(chǔ)存數(shù)量布置在獨(dú)立的建,構(gòu)，筑物內(nèi)或生產(chǎn)廠房的專用房間內(nèi),8.3 4，根據(jù)自燃.可燃特種氣體的性質(zhì).布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體設(shè)備分配間的火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)按甲類確定,8、3、5,根據(jù)硅烷的物理化學(xué)性質(zhì)，硅烷在空氣中的燃燒范圍為1.37.96.空氣中硅烷濃度在1。37，4,5、時(shí) 遇外界火源會(huì)產(chǎn)生爆燃，速度可達(dá)5m，s.當(dāng)空氣中硅烷濃度超過(guò)4,5、處于亞穩(wěn)定狀態(tài)。會(huì)發(fā)生延遲自燃性,濃度越高,延遲時(shí)間越短.這種延遲自燃性會(huì)導(dǎo)致爆燃.甚至爆轟 硅烷的首要危害是它的自燃性，毒性為次要危害、硅烷的半致死濃度,LC50.為9600ppm，白鼠。4小時(shí)吸入,工作場(chǎng)所最高允許濃度為5ppm、考慮員工及財(cái)產(chǎn)的安全.規(guī)定新建大宗硅烷站應(yīng)布置在獨(dú)立建筑物或構(gòu)筑物內(nèi),但是根據(jù)我國(guó)目前在北京。南京已建成的幾家TFT.LCD工廠的實(shí)際情況看。部分硅烷站與工廠的其他氣體供應(yīng)站布置在同一棟建筑內(nèi).因此規(guī)范對(duì)該條作了靈活處理.規(guī)定在平面布置有困難時(shí)、改、擴(kuò)建項(xiàng)目的大宗硅烷站可與工廠其他氣體供應(yīng)站房布置在同一建筑物內(nèi)，并用防爆墻與其他氣體供應(yīng)間隔開(kāi).8，3、7 可燃特種氣體包括自燃性 可燃性氣體.此類氣瓶柜的設(shè)置應(yīng)依據(jù)該類特種氣體的自燃性,可燃性特性.規(guī)定了氣瓶柜內(nèi)設(shè)置的相關(guān)規(guī)定.如排風(fēng)次數(shù)。紫外紅外火焰探測(cè)器設(shè)置。自動(dòng)滅火系統(tǒng)以及自燃性氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板等安全措施.以確保安全可靠運(yùn)行.本條第1款規(guī)定硅烷氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次，h,該款的依據(jù)是 潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn).NFPA、318.2006第8 5,3條的相關(guān)條款,當(dāng)硅烷滿瓶時(shí)。壓力為1500PSI。保證硅烷安全的體積濃度0。4 爆炸下限為1。34、時(shí)的排風(fēng)量為284L。s，在氣瓶柜體積為0,85m3的狀況下，硅烷氣瓶柜的排氣次數(shù)為1200次，h.8,3,8。為防止自燃性.可燃性 毒性，腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)獗槐举|(zhì)特種氣體污染.引發(fā)著火 中毒或設(shè)備拉壞等事故.應(yīng)在吹掃氮?dú)夤芫€設(shè)置止回閥 8.3,9.自燃性、可燃性.毒性，腐蝕性特種氣體系統(tǒng)在抽真空或吹掃過(guò)程中排出的超過(guò)規(guī)定濃度的特種氣體和特種氣體混合氣對(duì)環(huán)境與人體將會(huì)造成著火 中毒和損害設(shè)備、管路等安全危害。因此這些特種氣體及混合氣應(yīng)通過(guò)排氣管道進(jìn)入尾氣處理裝置進(jìn)行處理、達(dá)到規(guī)定濃度后才能排入工廠排氣系統(tǒng)。為防止不相容性特種氣體發(fā)生反應(yīng)引發(fā)事故，不相容性特種氣體應(yīng)分別采用不同的尾氣處理裝置進(jìn)行處理。8，3、10 生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的可燃和毒性特種氣體管道應(yīng)明敷。穿過(guò)生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采用密封措施。可燃,毒性 腐蝕性氣體管道的機(jī)械連接處應(yīng)置于排風(fēng)罩內(nèi),8 3，11 工程實(shí)踐表明.電子工廠特種氣體和吹掃氣體管道輸送系統(tǒng)常用管道材料應(yīng)采用SS304,SS316 SS316L等不銹鋼無(wú)縫鋼管和HC,22哈氏合金無(wú)縫鋼管等，根據(jù)特種氣體品種和純度。雜質(zhì)含量要求.特種氣體管道內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理，管道內(nèi)表面粗糙度、對(duì)BA管道要求小于Ra40,EP管道要求小于Ra25，為此作了本條的原則性規(guī)定，8。3、12，管道系統(tǒng)產(chǎn)生的靜電會(huì)導(dǎo)致管道系統(tǒng)發(fā)生燃燒等危險(xiǎn)現(xiàn)象，因此規(guī)定可燃,氧化性特種氣體管道應(yīng)設(shè)置靜電泄導(dǎo)的接地設(shè)施.8，3.14 由于自燃性 劇毒性和強(qiáng)腐蝕性氣體一旦泄漏、危害性極大 將會(huì)造成較大的人身傷亡和財(cái)產(chǎn)損失,目前在電子工廠中較多地采用雙層管道輸送這類特種氣體。屬于這類特種氣體的主要有.強(qiáng)反應(yīng)性氣體，B2H6、H2Se.GeH4 SiH4.Si2H6，SiHCH3.C2H2 B CH3 3。F2，CIF3等,自燃性氣體 B2H6 GeH4.SiH4.Si2H6.SiHCH3 B。CH3.3等、劇毒性氣體、AsH3、PH3，GeH4，B2H6、H2Se F2、B。CH3,3 NO。CIF3.PF5等。但是在工程實(shí)際中.由于每一個(gè)工廠對(duì)氣體特性的理解不同,從而導(dǎo)致同一種高危險(xiǎn)性氣體在不同工廠所使用的管道不一致,為此本條為推薦性條文、