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- 薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計規(guī)范 GB 51136-2015
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 基本工序
- 4.3 工藝區(qū)劃
- 4.4 設(shè)備配置
- 5 廠址選擇及總體規(guī)劃
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 8 氣體動力
- 9 供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防 靜 電
- 13 化 學(xué) 品
- 14 空間管理
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4、4、設(shè)備配置4 4。1，本條是對薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)設(shè)備和輔助設(shè)備配置的原則性要求。工藝生產(chǎn)設(shè)備及其設(shè)備的選擇除應(yīng)滿足加工工藝參數(shù)的要求外.應(yīng)配備有必要的安全保護裝置、還應(yīng)采取措施防止本設(shè)備加工過程中產(chǎn)生的粉塵，蒸發(fā)氣體,振動 電磁輻射等對潔凈室環(huán)境,其他加工設(shè)備以及產(chǎn)品質(zhì)量的不利影響 另外,鼓勵建設(shè)單位在條件允許時選擇自動化程度更高,能源和原材料消耗更省，排放,廢氣 廢水.更少的設(shè)備 4。4.2，陣列、彩膜和成盒工序段主要的加工對象為玻璃基板,玻璃基板尺寸大而薄.極易破碎、且對表面的污染控制要求很高，采用專用工裝進行搬運顯然是必要的 而對于批量生產(chǎn)線，由于搬運量大.生產(chǎn)連續(xù)性要求高.更適宜采用全自動物料搬送系統(tǒng)，如采用人工搬運小車進行搬運.易造成搬運錯誤或不及時。并造成因潔凈室內(nèi)人員頻繁走動引起的空氣污染問題。從而影響產(chǎn)品生產(chǎn)的良品率等。出于同樣的原因,跨層之間的產(chǎn)品垂直運輸適宜采用自動化垂直運輸設(shè)備.盡可能不采用.潔凈，貨運電梯的方式 4。4、3 化學(xué)氣相沉積機和濺射機等需定期進行腔體維修和靶材更換等，該設(shè)備及附近區(qū)域應(yīng)配置必要的吊裝起重設(shè)備、吊裝起重設(shè)備的設(shè)置除應(yīng)滿足服務(wù)區(qū)域。起吊高度和使用負荷要求外,還應(yīng)滿足表面光潔,易清潔，不發(fā)塵,不揮發(fā)泄漏等潔凈要求