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14，空間管理14，1.一般規(guī)定14,1，1，本條明確了薄膜晶體管液晶顯示器工廠空間管理進(jìn)行管線綜合時(shí)應(yīng)滿足的基本要求，薄膜晶體管液晶顯示器工廠內(nèi)管線龐雜.主要包括下列管線，1 工藝管線、含壓縮空氣。大宗氣體、工藝真空，清掃真空，特種氣體 純水、工藝廢水.工藝循環(huán)冷卻水.化學(xué)品供應(yīng)?；瘜W(xué)品回收,局部工藝排風(fēng)等管線，2.公用管線、含一般給排水,消防、送風(fēng).回風(fēng)、全室排風(fēng)。排煙.冷凍水等管線，3、電氣管線，含工藝設(shè)備。公用設(shè)備,照明等使用的母線,橋架 14,1、2，14、1，4。廠房的層高是調(diào)研了部分薄膜晶體管液晶顯示器工廠總結(jié)的一個(gè)高度，隨著薄膜晶體管液晶顯示器的尺寸變大.廠房的高度也在不斷增高，以滿足生產(chǎn)工藝的需要.各世代薄膜晶體管液晶顯示器工廠潔凈生產(chǎn)層和技術(shù)夾層凈高可參考表5.表5，各世代薄膜晶體管液晶顯示器工廠潔凈生產(chǎn)層和技術(shù)夾層凈高示例、m、