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- 薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計規(guī)范 GB 51136-2015
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 5 廠址選擇及總體規(guī)劃
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 7.1 一般規(guī)定
- 7.2 廠房結(jié)構(gòu)設計
- 7.3 微振動控制標準
- 7.4 微振動控制設計及測試
- 7.5 基座平臺設計
- 8 氣體動力
- 9 供暖、通風、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防 靜 電
- 13 化 學 品
- 14 空間管理
- 附錄A 薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)工藝流程
- 附錄B 微振動標準VC曲線
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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7、3,微振動控制標準7，3.1，有微振控制要求的工藝設備應由制造廠商提供設備臺座處的振動評價方法，微振動控制標準及要求。7，3，2.有微振控制要求的工藝設備的支承面振動值應在相應微振動標準曲線以下，微振動標準曲線可按本規(guī)范附錄B采用.7,3,3 曝光機，涂布機等工藝設備應滿足生產(chǎn)廠商對設備支承部位的動態(tài)剛度標準值要求。