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6.2、防火及安全疏散6,2。1.薄膜晶體管液晶顯示器工廠潔凈廠房具有如下主要特點(diǎn) 1 生產(chǎn)過程中需使用易燃,易爆的氣體.化學(xué)品等,它們對潔凈廠房構(gòu)成潛在的火災(zāi)威脅.2,潔凈廠房的面積大.體積大.并且常常是平面布置、空間布置曲折.增加了疏散路線上的障礙??赡苎娱L安全疏散的時間,3,潔凈廠房內(nèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需應(yīng)用各種類型的精密 貴重的設(shè)備,儀器。建設(shè)投資巨大、一旦失火、將會造成極大的損失 鑒于以上主要特點(diǎn) 為了保障財產(chǎn)。人身的安全.嚴(yán)格控制廠房建筑耐火等級是十分重要的.6 2 2、在現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn) 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范。GB、50472中.已對以下各工作間生產(chǎn)的火災(zāi)危險性作了明確規(guī)定 1、薄膜晶體管液晶顯示器工廠廠房中 有使用丁酮。丙酮.異丙醇等易燃化學(xué)品的潔凈室,這些化學(xué)品均為易燃化學(xué)品,應(yīng)屬甲類,因此將電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)有這些化學(xué)品的儲存間,分配間列為甲類。2.潔凈廠房中.常常使用H2,SiH4 AsH3,PH3等可燃,有毒氣體、因此將設(shè)有可燃。有毒氣體的儲存,分配間列為甲類。3,薄膜晶體管液晶顯示器工廠的CVD間。在設(shè)備密閉性良好,并設(shè)有氣體或可燃蒸氣報警裝置和滅火裝置時、應(yīng)按丙類設(shè)防、否則仍應(yīng)按甲類設(shè)防。4、薄膜晶體管液晶顯示器工廠的顯影、刻蝕間.模組裝配間、彩膜生產(chǎn)間應(yīng)按丙類設(shè)防.6。2、3。陣列.成盒,彩膜,模組廠房具有大面積。大體量的特點(diǎn)。如第八代薄膜晶體管液晶顯示器工廠潔凈室面積已達(dá)90000m2 這類潔凈廠房通常由潔凈生產(chǎn)區(qū)和潔凈生產(chǎn)區(qū)各自設(shè)有的上,下技術(shù)夾層構(gòu)成.廠房高度約為30m,40m、由于制造的生產(chǎn)工藝設(shè)備體量大,制造過程的連續(xù)性和自動化傳輸.所以生產(chǎn)工藝區(qū)是不能分隔的,在潔凈廠房內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風(fēng)前的回風(fēng)氣流中設(shè)置高靈敏度早期報警火災(zāi)探測器及其報警系統(tǒng)、Very Early、Smoke Detection、Apparatus,簡稱VESDA,或稱空氣采樣式煙霧探測系統(tǒng),Air、Sampling,Type。Smoke.Detection。System、可以主動抽取環(huán)境中空氣,只要空氣中有煙霧.就能及時報警.并在火災(zāi)形成前數(shù)小時實(shí)現(xiàn)早期報警.本條規(guī)定的靈敏度是傳統(tǒng)探測器的數(shù)百倍。做到早期發(fā)現(xiàn)、將火源消滅在初始狀態(tài)。關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備。主要是使用易引發(fā)火情的設(shè)備應(yīng)設(shè)有火災(zāi)報警和滅火裝置.6.2.4 本條第3款。陣列,成盒.彩膜、模組廠房具有大面積、大體量的特點(diǎn),如第八代薄膜晶體管液晶顯示器工廠潔凈室面積已達(dá)90000m2,建筑高度達(dá)36。3m,其廠房內(nèi)任一點(diǎn)到最近安全出口的距離達(dá)80m、120m、這類潔凈廠房內(nèi)使用可燃 易燃?xì)怏w的關(guān)鍵設(shè)備均設(shè)有火災(zāi)報警 氣體報警和CO2滅火裝置。這類廠房如前所述均設(shè)有高靈敏度早期煙霧探測系統(tǒng)。且此類廠房由于生產(chǎn)工藝設(shè)備體積大 連續(xù)性生產(chǎn) 自動化傳輸?shù)纫蛩?致使要實(shí)現(xiàn)廠房內(nèi)任一點(diǎn)到安全出口的距離符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)。建筑設(shè)計防火規(guī)范.GB 50016的規(guī)定十分困難。此類廠房中操作人員較少、人員密度極低 且人員流動巡查 因此本款規(guī)定,陣列,成盒、彩膜 模組廠房,在關(guān)鍵工藝設(shè)備自帶火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0。01。obs。m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后、安全疏散距離不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1 5倍。當(dāng)潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0、02人 m2時、安全疏散距離不得大于120m 本條第4款.陣列,成盒.彩膜.模組廠房具有生產(chǎn)工藝設(shè)備體積大 連續(xù)性生產(chǎn).自動化傳輸?shù)忍攸c(diǎn)、潔凈室內(nèi)操作人員較少,人員密度極低.技術(shù)支持區(qū)內(nèi)主要為人員流動巡查,因此當(dāng)潔凈室與技術(shù)支持區(qū)位于不同的防火分區(qū)時,可通過設(shè)置共用前室或安全通道共用疏散出口.6,2,5 由于潔凈廠房空間密閉 且設(shè)有人員凈化,物料凈化設(shè)施.一旦出現(xiàn)火情 消防人員進(jìn)入潔凈室的路徑較困難.為此本條規(guī)定靠外墻潔凈室。區(qū)。各層外墻應(yīng)設(shè)供消防人員通往潔凈室。區(qū)、的入口,6,2.6。在薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)中。因?yàn)樯a(chǎn)部件尺寸較大 需要通過物料自動搬運(yùn)系統(tǒng)傳遞,穿過不同生產(chǎn)樓層的自動化垂直搬運(yùn)系統(tǒng)在物料進(jìn),出口處,因?yàn)檫B續(xù)傳輸無法采用防火卷簾等方式封閉。故按本規(guī)范第10,6 6條的規(guī)定設(shè)置水幕系統(tǒng)進(jìn)行保護(hù)、6。2,7。薄膜晶體管液晶顯示器工廠生產(chǎn)使用所需要的低壓,低沸點(diǎn)特種氣體,由于輸送過程中極易液化。無法采用長距離管道輸送,不可避免地會設(shè)在廠房內(nèi) 如高純氣體純化間、有可燃?xì)怏w的氣體入口室 特種氣體儲存分配間??扇蓟瘜W(xué)品儲存、分配間等,對于有爆炸危險的易燃 易爆化學(xué)品及氣體的配送間在設(shè)置足夠的泄壓面積后??纱蟠鬁p輕爆炸時的破壞強(qiáng)度 避免因主體結(jié)構(gòu)遭受破壞而造成重大人員傷亡和經(jīng)濟(jì)損失,在現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、建筑設(shè)計防火規(guī)范。GB、50016中明確規(guī)定 有爆炸危險的甲,乙類生產(chǎn)部位,宜布置在單層廠房外墻的泄壓設(shè)施或多層廠房頂層靠外墻的泄壓設(shè)施附近,
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