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6，2.管材及附件6.2、1,除了純度與干燥度的控制外、潔凈室的潔凈度級別.是我們控制管道系統(tǒng)輸送氣體污染物粒子量級的重要依據、氣體管道系統(tǒng)供氣質量符合潔凈室的等級要求、就能夠滿足工藝氣體潔凈度對粒子污染物的控制要求.關于管材選配原則，是這樣考慮的,1.管材的透氣性要小.1、對于不同材質的管道 其透氣性能不同，如果管材本身透氣性較大,而安裝中不恰當地作了選用 那么，無論采取任何處理手段去除污染 都將無濟于事。管材透氣性見表1、防止大氣中氧的滲透和腐蝕。不銹鋼管和銅管最佳、對700mm長管路中水分的測定。見表2,2、氣體中的水分主要來自管路系統(tǒng)。而管路系統(tǒng)中的水分、在很大程度上受周邊環(huán)境濕度的影響.滲透對管路內的氣質有很大破壞力,普通銅管內表面對雜質,尤其對水分的活性很高、因此.當使用這類管材時，切忌用溶劑或化學藥品清洗。而應當用純凈氣體吹掃,3，由于管道安裝的環(huán)境可能在室外,即使在室內 環(huán)境空氣也有一定的濕度。對銅管也有一定的影響,所以、使用銅管時。對銅管的吹掃時間應當延長 一般為不銹鋼管的8、20倍、否則難以達到應有的效果，4、不銹鋼管材的活性比銅管差 所以對要求較高的高純,潔凈氣體來說 不銹鋼管是一種較為理想的管材 對于在1,5級潔凈室內,采用316L不銹鋼管 對應國產品牌00Cr17Ni14Mo2，5 對于6、9級管路系統(tǒng)、視要求的高低可以采用316或者304不銹鋼管 對應國產品牌分別為0Cr17Ni12Mo2，0Cr18Ni9 6 對氧氣管路系統(tǒng)應根據使用條件和周邊狀況?？刹捎勉~管,壓縮空氣管道 干燥度在,20。與.40。時.采用不銹鋼管304 0Cr18Ni9，2.管材內表面吸附。解吸氣體的作用要小 在不銹鋼熔煉制材過程中 每噸可吸收大約200g的氣體 所以.不銹鋼材加工完畢。不僅其表面粘有各種污染物，而且在其金屬晶格內也吸留有一定量的氣體.這樣 當管路中有氣流通過時，金屬所吸留的這部分氣體會重新進入氣流中。污染純凈氣體。尤其當管內氣流為不連續(xù)流動時.這類材料的作用好比吸附劑，通過氣流時.管材對所通過的氣體形成壓力下吸附、氣流停止通過時。管材所吸附的氣體又形成降壓解析、而解析的氣體同樣作為雜質進入管內純凈氣體中。同時,吸附、解析周而復始。使得管材內表面金屬也會產生一定的粉末 這種金屬粉塵粒子同樣污染管內純凈的氣體 3 保持管材內表面光滑、耐磨損、管材的這一特性至關重要。為了確保輸送的氣體的純凈度,不僅要求管材內表面有極高的光滑度.而且應當具有很高的耐磨特性，這樣 既防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，管材本身在氣流的高速沖刷.擊 下 由于磨阻損耗低，也避免了管材的金屬粉末進入氣流中,造成氣體的污染,不銹鋼管和銅管的不同見表3，2，為提高內表面的相對粗糙度 要在管材生產工藝中加以解決 如特殊拉拔，光亮退火,內面電拋光等、比起在施工過程中加以處理要有效和可靠。因此要使用成品專用管.一般不能在現(xiàn)場加工.處理使用 4,具有良好的抗腐蝕性能 在生產工藝中.使用腐蝕性較強的氣體時。必須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管、否則,管材將會由于腐蝕而在內表面產生腐蝕斑,嚴重時會出現(xiàn)大片金屬銹班剝離甚至導致管道穿孔,從而污染輸配的純凈氣體 這種場合不得使用普通無縫鋼管或鍍鋅焊接鋼管、5，在焊接處理時管材組織不發(fā)生變化。大流量的高純.高潔凈度氣體輸配管道的連接。原則上全部采用焊接 因此要求采用的管材在施焊時組織不發(fā)生變化。如果選用鋼管 則低碳鋼管材,316L，較為適宜、否則，含碳過高的材料在焊接時。受焊接熱影響的部位可析出炭來.從而產生局部腐蝕應力、造成焊接部位的透氣、使得管內外氣體的相互滲透 破壞輸送氣體的純度。干燥度和潔凈度，導致各項努力全部失去意義 6。2.2,潔凈室內的管材有具使用的特殊性.從進貨。驗證.保存.下料，焊接,裝配、試壓 吹除 運行等工序都有著嚴格的要求，所有這些內容與程序,都是管道系統(tǒng)質量的技術保障措施。因此,條文規(guī)定比較詳細。以下幾點應特別注意，1、潔凈管材十分珍貴.進貨不能像普通管材那樣隨意碼放、不僅要保持外觀的清潔、包裝紙完好。更要防止磕碰。更重要的是保持內表面的粗糙度與光滑不受破壞 2，管端頭的密封罩蓋、甚至管外壁的包裝紙都應完好無損。否則便成為施工單位的保管失職、3.由于特殊拉拔工藝生產的內表面 光亮退火B(yǎng)A、管材及內面、電研磨拋光的EP,管材、加工工藝復雜。價格昂貴，市場.內壁光滑潔凈管。效果良莠不齊.不僅與國外的水平差距較大，國內各廠家的產品效果也相差甚遠、必須進行相應的粗糙度的檢測、驗證其可靠性與真實性。確保施工起點高，從源頭消除隱患、確保潔凈室內相應級別的管道施工質量,因此,隨機抽檢內表面的粗糙度是否與設計相符，是否與出廠參數相符、是潔凈管道施工的一項重要的程序，系統(tǒng)內表面加以處理.對減少管材自身可能造成的污染十分有效，目前 研磨,電拋光是管材內表面處理的最佳方式，如果在機械加工后經電拋光。則管路系統(tǒng)內表面的粗糙度會得到較大的改善 見表5.為確保輸送氣體的質量經過管道輸送不發(fā)生變化增大了可靠性、6、2。5、管路附件材質最低應與主管材質一致.在采用銅材的管路系統(tǒng)中 可以采用不銹鋼材質的管路附件,而在采用不銹鋼材質的管路系統(tǒng)中。不得采用低于主管材的銅材質的管路附件，而且，凡是與應用氣體接觸的管路系統(tǒng) 均不得含有塑料制件、不銹鋼管的耐磨性能優(yōu)于銅管.在氣流沖刷下產生的金屬粉塵相對也少,對潔凈度要求高的場合使用不銹鋼管316L,316,304 不得采用銅管材,銅管內表而對雜質,尤其對水分的活性很高、因此,當使用這類管材時，切忌用溶劑或化學藥品清洗、而應當用純凈氣體吹掃 清洗也比不銹鋼材難度大 而且在微電子生產中,個別生產工藝。如砷化鎵的操作，為了防止產生器件電阻、不允許使用銅質管路及其附件 由于管道安裝的環(huán)境空氣也有一定的濕度，對銅管也有一定的影響,所以，使用銅管時,對銅管的吹掃時間應當延長.一般為不銹鋼管的8、20倍,