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6 6、氣體供給裝置6.6、1。瓶裝氣體供給裝置應(yīng)安裝在使用潔凈室之外的房間,兩室之間穿墻的管道應(yīng)加套管 并應(yīng)在管道與套管間隙填滿不燃材料并加密封。6。6.2。裝置出口管道上的安全閥在安裝前應(yīng)進(jìn)行閥門開啟檢查、開啟壓力、密封壓力和回座壓力應(yīng)符合安全閥性能要求、6。6。3,集中式真空吸引裝置應(yīng)安裝在遠(yuǎn)離潔凈室的建筑物外.安裝時應(yīng)采取有效隔聲防振措施 與其連接的彎管半徑不應(yīng)小于5倍管外徑 過濾清除設(shè)施應(yīng)安在排氣口、
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