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2。術(shù),語2。0。1,潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境、cleanrooms。and,associated,controlled.environment潔凈室及其附屬的、輔助的,相聯(lián)系的開放或封閉的內(nèi)部或周邊空間,該空間的懸浮微粒濃度等參數(shù)也受到符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的控制。2.0.2，單向流潔凈室。unidirectional,airflow.cleanroom由方向單一、流線平行并且速度均勻穩(wěn)定的單向流流過房間工作區(qū)整個截面的潔凈室。2、0.3、非單向流潔凈室。non,unidirectional airflow,cleanroom是指流線不平行。方向不單一。速度不均勻而且有交叉回旋的紊亂氣流流過房間工作區(qū)整個截面的潔凈室 亦稱亂流潔凈室，2,0。4?；旌狭鳚崈羰?mixed,airflow，cleanroom同時分別存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室、2。0.5.微粒 particle懸浮在空氣中的,固態(tài)的或液態(tài)的 活性的或非活性的物質(zhì)。其粒徑。對本標(biāo)準(zhǔn)而言 在10nm，100μm的范圍、2,0，6、氣溶膠、aerosol在空氣中懸浮的微小固體或液體微粒的分散系 2，0、7.生物氣溶膠、bio、aerosol散布于氣態(tài)環(huán)境中的生物介質(zhì)，2 0、8，浮游菌、airborne.bacteria懸浮在空氣中的帶菌微粒 2 0。9、沉降菌。scttlemental bacteria降落在表面上的帶菌微粒。2，0,10、測試用氣溶膠、test，aerosol呈氣態(tài)懸浮的固體或液體的微粒 其粒徑分布和濃度已知且受控,2、0 11.泄漏.leak空氣過濾器系統(tǒng)因完整性不佳或有缺陷所引起的污染物透過,透過的污染物超過下風(fēng)向濃度預(yù)計值.2.0，12。檢漏、leak,test找到過濾器和機組部件泄漏的方法.即使用氣溶膠光度計或光學(xué)粒子計數(shù)器以相互重疊的掃描區(qū)域掃描通過測試區(qū).2,0、13.過濾器安裝后泄漏測試 installed，filter，leakage。test為確認過濾器安裝良好所進行的測試。測試時要驗證設(shè)施沒有旁路滲漏。過濾器及過濾器和安裝框架間的密封面沒有缺陷和泄漏、2、0.14。靜態(tài),at，rest全部建成且設(shè)施齊備.凈化空調(diào)系統(tǒng)運行正?！，F(xiàn)場沒有人員.此時生產(chǎn)設(shè)備已安裝完畢而未運行的潔凈室狀態(tài)，或生產(chǎn)設(shè)備停止運行并進行自凈達到規(guī)定時間后的潔凈室狀態(tài)、或正在按建設(shè)方、用戶 和施工方商定的方式運行的潔凈室狀態(tài).是潔凈室的三種占用狀態(tài)。空態(tài)。靜態(tài)，動態(tài)。之一,2.0、15，高純氣體、ultrapure.gas氣體成分純度大于或等于99，9995。含水量小于5ppm的氣體.2.0 16。純化水,purity.water、去離子水或深度脫鹽水.指溫度25。時 電阻率大于0 1 106Ω，cm的水。2、0 17,高純水.注射用水 ultrapure、water指溫度25。時。電阻率大于0。1.106Ω,cm,水中大于或等于0,5μm的塵粒小于300粒、mL.活微生物小于9個。mL的純水 2 0、18 大 宏,粒子，macroparticle當(dāng)量直徑大于5μm的微粒，2，0,19,超微粒子，ultrafine，particle當(dāng)量直徑小于0，1μm的微粒。2.0、20 永久氣體 permanent、gas臨界溫度低于，10,的氣體、如空氣.氧,氮。氦。甲烷。一氧化碳等。2 0，21,特種氣體 special,gas為滿足特定用途的氣體 包括單一氣體或混合氣體,單一氣體有259種,其中電子氣體115種.有機氣體63種。無機氣體35種.鹵碳素氣體29種.同位素氣體17種、2。0、22、醫(yī)用氣體、medical gas符合醫(yī)療相關(guān)規(guī)定要求 供治療，診斷，預(yù)防等醫(yī)學(xué)方面使用的氣體，2。0、23 潔凈氣體 clean gas單位體積所含微粒的數(shù)量小于或等于使用此氣體的潔凈環(huán)境潔凈度的常用氣體,2。0 24.分子態(tài)污染物 airborne,molecular,contamination.AMC含在空氣中的具有分子量級的污染物.如酸性氣體 堿性氣體，凝聚性有機物質(zhì)，用于半導(dǎo)體的摻雜物，高揮發(fā)性有機物質(zhì)和分子級的金屬等。